本文關(guān)鍵詞：一種寬頻帶RF MEMS開關(guān)的設(shè)計(jì)研究

  更多相關(guān)文章： RF MEMS開關(guān) 驅(qū)動(dòng)電壓 插入損耗 隔離度 寬頻帶 高穩(wěn)定性

【摘要】：針對(duì)現(xiàn)階段常用的射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF MEMS)開關(guān)頻帶窄和穩(wěn)定性差這個(gè)特點(diǎn),本文提出了一種結(jié)型梁RF MEMS開關(guān),該微結(jié)構(gòu)采用了的共面波導(dǎo)線的傳輸線形式以便于與其他器件串并聯(lián),使用結(jié)型梁增強(qiáng)了開關(guān)的穩(wěn)定性。首先就RF MEMS開關(guān)模型的設(shè)計(jì)及工作原理進(jìn)行介紹,然后利用有限元分析軟件ANSYS對(duì)其驅(qū)動(dòng)電壓進(jìn)行分析,并進(jìn)一步利用HFSS高頻仿真軟件,針對(duì)結(jié)型梁結(jié)構(gòu)的RF MEMS開關(guān)進(jìn)行射頻性能的分析優(yōu)化,得到了在頻帶寬為45 GHz,在15~60 GHz插入損耗小于0.15dB,隔離度高達(dá)52dB的RF MEMS開關(guān),最后驗(yàn)證了其在較高加速度沖擊條件下依然具有較高的穩(wěn)定性,適用于惡劣環(huán)境。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： RF MEMS開關(guān) 驅(qū)動(dòng)電壓 插入損耗 隔離度 寬頻帶 高穩(wěn)定性
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61401405);國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(51475438) 山西省基礎(chǔ)研究項(xiàng)目(2014011021-4) 山西省回國(guó)留學(xué)人員科研資助項(xiàng)目(2014-055)
【分類號(hào)】：TH-39
【正文快照】： 如今,隨著通信系統(tǒng)頻段的不斷提高,通信組件的不斷小型化,一些組件如變?nèi)荻䴓O管,PIN二極管、電感和表面聲波濾波器等不能再與有源電路集成,何況要同時(shí)保持高性能,但是射頻微機(jī)電系統(tǒng)(RF MEMS)被證明是一個(gè)未來可以突破這個(gè)難題的最有希望,最有前景的技術(shù)[1-3]。一方面MEMS技術(shù)

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本文編號(hào)：672943