本文關(guān)鍵詞：基于窄帶水平集算法的三維表面工藝模擬系統(tǒng)（英文）

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【摘要】：表面工藝是MEMS制造的一種重要方法,實現(xiàn)其加工過程的計算機仿真可以為相關(guān)MEMS工藝研究和器件開發(fā)提供技術(shù)支持,減少相關(guān)MEMS產(chǎn)品的開發(fā)成本,縮短其開發(fā)周期。基于窄帶水平集算法完成了表面加工工藝的三維表面工藝模擬系統(tǒng)。窄帶水平集算法穩(wěn)定,計算速度快處理拓?fù)渥冃畏浅ｌ`活,本文將其應(yīng)用于該軟件仿真系統(tǒng)中,并進(jìn)行了一列的仿真實驗,將仿真結(jié)果與實際的流片電鏡圖對比,驗證了仿真系統(tǒng)的精確性。
【作者單位】： 東南大學(xué)MEMS教育部重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 仿真系統(tǒng) 三維表面微機械加工工藝 窄帶水平集
【基金】：國家863計劃項目(2015AA042604)
【分類號】：TH-39;TP391.9
【正文快照】： The surface micromachining process has a good compatibility with the CMOS technology,and at the same time it is also one of the most common and commercialized processing techniques,and one core technology for the super-large-scale integration.It can take

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本文編號：514433