針對溫度噪聲和設(shè)計參數(shù)隨機性下的微機電系統(tǒng)(MEMS)產(chǎn)品非正態(tài)多質(zhì)量特性波動問題,提出一種基于廣義線性模型和基于分解的多目標進化算法(MOEA/D)的穩(wěn)健設(shè)計方法。在樣本數(shù)據(jù)建模階段將雙響應(yīng)曲面引入廣義線性模型中,來構(gòu)建MEMS產(chǎn)品非正態(tài)多質(zhì)量特性均值模型和方差模型,克服以往研究中對非正態(tài)轉(zhuǎn)換方法下的復(fù)雜高維非線性模型信息失真的局限性,從理論上體現(xiàn)了MEMS產(chǎn)品非正態(tài)質(zhì)量特性處理方法的嚴密性和有效性。在此基礎(chǔ)上,提出MOEA/D優(yōu)化策略,解決多質(zhì)量特性沖突、離散和溫度噪聲條件下的模型求解問題。通過算例證明所提方法可以降低溫度噪聲和設(shè)計參數(shù)隨機性對MEMS產(chǎn)品非正態(tài)質(zhì)量特性的影響,同時表明該方法解決不確定性環(huán)境下的多質(zhì)量特性決策問題是有效的。

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【文章目錄】：
0 引言
1 MEMS產(chǎn)品質(zhì)量特性波動問題描述
2 基于廣義線性模型的MEMS產(chǎn)品非正態(tài)多質(zhì)量特性模型的構(gòu)建
3 基于MOEA/D方法的MEMS產(chǎn)品非正態(tài)多質(zhì)量特性優(yōu)化
4 實例分析
    4.1 MEMS精密陀螺有限元分析與模型構(gòu)建
    4.2 MEMS精密陀螺穩(wěn)健設(shè)計結(jié)果
    4.3 MEMS精密陀螺穩(wěn)健設(shè)計結(jié)果驗證分析
    4.4 MEMS精密陀螺可靠性驗證分析
5 結(jié)束語



本文編號：3757024