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Mn-Zn鐵氧體燒結(jié)推板窯液壓傳動(dòng)系統(tǒng)穩(wěn)定性研究

發(fā)布時(shí)間:2021-11-24 00:49
  Mn-Zn鐵氧體廣泛應(yīng)用于大規(guī)模集成電路等電子元器件,其制備設(shè)備的研制對(duì)于我國大規(guī)模集成電路的產(chǎn)業(yè)化具有重要意義。Mn-Zn鐵氧體燒結(jié)推板窯是一種在氮?dú)鈿夥毡Wo(hù)下燒結(jié)鐵氧體的連續(xù)式推板隧道窯(以下簡(jiǎn)稱連續(xù)式氮窯)。作為連續(xù)式氮窯的驅(qū)動(dòng)系統(tǒng),液壓傳動(dòng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性直接決定了鐵氧體的性能,是連續(xù)式氮窯研發(fā)的關(guān)鍵任務(wù)。本文針對(duì)目前連續(xù)式氮窯液壓傳動(dòng)系統(tǒng)中存在的穩(wěn)定性問題,從主推進(jìn)油缸低速穩(wěn)定性、內(nèi)外閘門保壓壓力穩(wěn)定性、油溫穩(wěn)定性以及循環(huán)控制周期穩(wěn)定性等四個(gè)方面開展研究,從而提高鐵氧體性能的一致性及合格率。主要研究工作與結(jié)論如下:(1)分析主推進(jìn)油缸2FRM6型調(diào)速閥的特性,確定調(diào)速閥流量特性。在此基礎(chǔ)上,分析主推進(jìn)油缸動(dòng)態(tài)特性及其爬行機(jī)理,以此給出油缸爬行抑制措施。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,爬行現(xiàn)象得到了較好的抑制,油缸低速運(yùn)行穩(wěn)定。(2)設(shè)計(jì)液壓鎖和蓄能器相結(jié)合的保壓回路,并對(duì)其關(guān)鍵元器件——皮囊式蓄能器進(jìn)行設(shè)計(jì)選型。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,蓄能器參與保壓回路極大地提高了閘門的密封性能。(3)分析油溫對(duì)液壓傳動(dòng)系統(tǒng)的影響以及液壓系統(tǒng)發(fā)熱和散熱情況。在此基礎(chǔ)上,依據(jù)油液恒溫系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì),計(jì)算油箱容積,并對(duì)其關(guān)鍵元... 

【文章來源】:國防科技大學(xué)湖南省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數(shù)】:61 頁

【學(xué)位級(jí)別】:碩士

【文章目錄】:
摘要
ABSTRACT
第—章 緒論
    1.1 課題的背景與意義
    1.2 國內(nèi)外研究現(xiàn)狀
        1.2.1 連續(xù)式氮窯液壓傳動(dòng)系統(tǒng)基本概況
        1.2.2 連續(xù)式氮窯液壓傳動(dòng)系統(tǒng)的發(fā)展
    1.3 研究思路和內(nèi)容安排
        1.3.1 問題提出
        1.3.2 研究思路
        1.3.3 內(nèi)容安排
第二章 主推進(jìn)油缸低速穩(wěn)定性設(shè)計(jì)
    2.1 2FRM6型調(diào)速閥特性分析
        2.1.1 調(diào)速閥工作原理
        2.1.2 調(diào)速閥靜態(tài)特性
        2.1.3 調(diào)速閥動(dòng)態(tài)特性
    2.2 主推進(jìn)油缸動(dòng)態(tài)特性分析
        2.2.1 主推進(jìn)油缸液壓基本回路
        2.2.2 帶管道油缸動(dòng)態(tài)特性
        2.2.3 油缸爬行機(jī)理分析
        2.2.4 主推進(jìn)油缸爬行抑制措施
    2.3 主推進(jìn)油缸工進(jìn)實(shí)測(cè)結(jié)果分析
    2.4 本章小結(jié)
第三章 閘門保壓回路設(shè)計(jì)
    3.1 液壓保壓回路類型
    3.2 閘門液壓保壓回路設(shè)計(jì)
    3.3 蓄能器設(shè)計(jì)選型
        3.3.1 皮囊式蓄能器容量計(jì)算
        3.3.2 蓄能器放液體積計(jì)算
        3.3.3 蓄能器容量計(jì)算
    3.4 閘門實(shí)際保壓效果測(cè)試分析
    3.5 本章小結(jié)
第四章 油液恒溫系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    4.1 油溫對(duì)液壓傳動(dòng)系統(tǒng)影響分析
        4.1.1 油溫過高的影響
        4.1.2 油溫過低的影響
    4.2 液壓傳動(dòng)系統(tǒng)發(fā)熱和散熱分析
        4.2.1 液壓傳動(dòng)系統(tǒng)發(fā)熱
        4.2.2 液壓傳動(dòng)系統(tǒng)散熱
    4.3 油液恒溫系統(tǒng)設(shè)計(jì)
        4.3.1 油溫控制系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)
        4.3.2 油箱容積計(jì)算
        4.3.3 油冷卻器設(shè)計(jì)選型
        4.3.4 油加熱器設(shè)計(jì)選型
    4.4 油液恒溫系統(tǒng)控溫實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證
    4.5 本章小結(jié)
第五章 液壓循環(huán)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)
    5.1 液壓循環(huán)PLC控制系統(tǒng)
        5.1.1 PLC控制系統(tǒng)組成
        5.1.2 PLC控制系統(tǒng)基本原理
        5.1.3 PLC控制系統(tǒng)方案設(shè)計(jì)
    5.2 主推進(jìn)油缸快轉(zhuǎn)慢間距恒定設(shè)計(jì)
        5.2.1 方案設(shè)計(jì)
        5.2.2 軟件設(shè)計(jì)
    5.3 隔離倉清洗時(shí)間設(shè)計(jì)
    5.4 主推進(jìn)油缸動(dòng)作間隔時(shí)間設(shè)計(jì)
    5.5 循環(huán)周期測(cè)試結(jié)果
    5.6 本章小結(jié)
結(jié)束語
致謝
參考文獻(xiàn)
作者在學(xué)期間取得的學(xué)術(shù)成果



本文編號(hào):3514957

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