<正>微機電系統(tǒng)MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是伴隨著半導(dǎo)體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)發(fā)展起來的,是指尺寸在幾毫米乃至更小尺寸的高科技裝置,其內(nèi)部結(jié)構(gòu)在微米甚至納米量級,可以成為一個獨立的智能系統(tǒng)。MEMS的發(fā)展目標(biāo)在于:通過微型化、集成化探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個新的技術(shù)領(lǐng)域和產(chǎn)業(yè)。微機電技術(shù)是繼微電子技術(shù)后又一個對國民 

【文章來源】：航空兵器. 2020,27(04)北大核心CSCD

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本文編號：3140712