<正>微機電系統(tǒng)MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是伴隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術發(fā)展起來的,是指尺寸在幾毫米乃至更小尺寸的高科技裝置,其內(nèi)部結構在微米甚至納米量級,可以成為一個獨立的智能系統(tǒng)。MEMS的發(fā)展目標在于:通過微型化、集成化探索新原理、新功能的元件和系統(tǒng),開辟一個新的技術領域和產(chǎn)業(yè)。微機電技術是繼微電子技術后又一個對國民 

【文章來源】：航空兵器. 2020,27(04)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：1 頁


本文編號：3140712