隨著半導體技術、精密加工和精密測量技術的發(fā)展,研究較大行程的微納定位平臺將具有更重要的意義。本文研究了一種三自由度大行程的微納定位平臺,完成了該平臺的整體結構設計,并結合柔度矩陣法、有限元分析等方法對該平臺的靜動態(tài)特性進行了研究。在微納定位平臺的設計方面,以柔順機構作為設計理念,利用柱狀菱形柔性鉸鏈、復合平行四桿導向機構以及結構一體化的設計模式,完成了一種三自由度大行程的微納定位平臺的結構設計。該平臺由上下兩部分并聯組成:上層機構采用四個復合柔順四桿機構連接在中心工作平臺的四個側面,實現對平臺X或Y方向的運動導向,該四桿機構還嵌入了矩形柔性單元,形成了平臺沿豎直方向的導向運動,同時上層的柔順機構將驅動器與平臺的中心工作部分進行隔離,減少了額外的運動對驅動器的影響;下層機構采用了八立柱結構,固定平臺通過四根柱狀菱形柔性鉸鏈與第二運動平臺相連接,第二運動平臺再通過另外的四根柱狀菱形柔性鉸鏈與中心工作平臺相連接,從而形成一種立體化的柔順四桿機構,實現平臺沿豎直方向的運動,同時具有X和Y方向的運動能力。對稱設計該定位平臺的結構,可以有效的抑制平臺的耦合位移的產生。在微定位平臺的理論建模與動力學... 

【文章來源】：哈爾濱工業(yè)大學黑龍江省 211工程院校 985工程院校

【文章頁數】：64 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

氣體靜壓微定位工作臺[36]33[37]

計的過程中采用的驅動方式是直流電機和絲杠螺母。圖 1-1 氣體靜壓微定位工作臺[36]33航天大學的時運來[37]等人設計了一款粘滑驅動式的1-2 所示。該平臺將柔性鉸鏈敦豪慣性質量塊以及彈基座，并與壓電陶瓷堆、陶瓷球固連為定子，安裝在動平臺之間的預壓力可以調節(jié)，從而獲得更加的驅40 mm 40 mm 18 mm，質量為32 g，通過實驗表明10 nm的運動步長，速度為 2.5 mm/s。通過位移的累m。直流電機導向機構絲杠干涉儀螺母氣源 氣壓軸承

哈爾濱工業(yè)大學工學碩士學位論文主要是通過新型的快速尺蠖式原理設計的驅動器來作臺-的尺寸結構更加緊湊，這種結構上的優(yōu)勢主現。位移測量的反饋方式即在控制系統(tǒng)中的測量反儀，工作平臺中關于輸出位置的精確測量可以通過使定位工作平臺中的定位行程達到100 mm，獲得移動步距的大小為50 nm。位移傳感器 干涉儀

【參考文獻】：
期刊論文
[1]黏滑驅動式小型精密運動平臺[J]. 時運來,婁成樹,張軍,程丁繼.  光學精密工程. 2018(05)
[2]直角柔性鉸鏈平行四桿機構的導向位移分析[J]. 葉果,李威,王禹橋,楊雪峰.  中國礦業(yè)大學學報. 2010(02)
[3]大行程納米級壓電微動工作臺的設計與試驗研究[J]. 胡長德,趙美蓉,李詠強,高娟,朱砂.  傳感技術學報. 2009(06)
[4]納米操作系統(tǒng)的研究現狀與關鍵技術[J]. 王樂鋒,榮偉彬,孫立寧.  制造技術與機床. 2007(03)
[5]基于疊片式柔性鉸鏈和壓電陶瓷電動機的大行程直線驅動導軌設計[J]. 石旭東,李健麗,王立文.  制造技術與機床. 2007(02)

碩士論文
[1]二維宏微驅動平臺及其去耦合技術研究[D]. 管凱敏.浙江大學 2014
[2]基于直線電機宏微雙重驅動大行程精密定位臺的研究[D]. 胡兵.廣東工業(yè)大學 2013
[3]多足箝位式壓電直線電機的研究[D]. 潘雷.南京航空航天大學 2012
[4]光柵尺位移測量儀表的研究[D]. 蘇紅.西北農林科技大學 2008
[5]二維超精工件臺及其控制系統(tǒng)的研究[D]. 桑武斌.浙江大學 2008



本文編號：3050596