發(fā)布時(shí)間：2020-12-22 12:34

　　對(duì)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度傳感器ADXL203的微機(jī)械結(jié)構(gòu)建立三維模型,使用卡式定理與線性彈性理論推導(dǎo)折疊梁X,Y,Z方向剛度,并利用ANSYS有限元仿真驗(yàn)證了剛度計(jì)算結(jié)果。求解結(jié)構(gòu)阻尼系數(shù),由阻尼受迫振動(dòng)模型入手,采用準(zhǔn)靜態(tài)理論或振動(dòng)理論,分析微機(jī)械結(jié)構(gòu)在沖擊脈沖下的響應(yīng)規(guī)律,推導(dǎo)出在半正弦波沖擊條件下,微機(jī)械結(jié)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方程。計(jì)算得到微機(jī)械結(jié)構(gòu)在X,Y方向最大位移為0.883,0.878 6 mm,分別在沖擊發(fā)生后的0.141,0.142 ms時(shí)。提出了微機(jī)械結(jié)構(gòu)剛度、阻尼、運(yùn)動(dòng)方程的求解方法,便于分析其失效機(jī)理,指導(dǎo)MEMS沖擊試驗(yàn)的進(jìn)行。 

【文章來源】：傳感器與微系統(tǒng). 2020年09期

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 折疊梁剛度推導(dǎo)方法
    1.1 微機(jī)械結(jié)構(gòu)建立
    1.2 折疊梁剛度計(jì)算
    1.3 折疊梁剛度計(jì)算方法驗(yàn)證
2 X和Y方向微機(jī)械結(jié)構(gòu)阻尼分析
3 微機(jī)械結(jié)構(gòu)受沖擊運(yùn)動(dòng)方程
    3.1 微機(jī)械結(jié)構(gòu)沖擊下響應(yīng)規(guī)律
    3.2 微機(jī)械結(jié)構(gòu)運(yùn)動(dòng)方程推導(dǎo)
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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[3]一種彈性折疊梁的剛度建模分析[J]. 劉斌,張彥斐,宮金良.  組合機(jī)床與自動(dòng)化加工技術(shù). 2016(01)
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博士論文
[1]低g值微型加速度開關(guān)器件關(guān)鍵技術(shù)研究[D]. 彭迎春.重慶大學(xué) 2017
[2]復(fù)雜力學(xué)環(huán)境中MEMS安全系統(tǒng)失效機(jī)理與分析方法研究[D]. 張建宏.北京理工大學(xué) 2014

碩士論文
[1]多種單應(yīng)力環(huán)境下MEMS高g值微加速度計(jì)的失效分析研究[D]. 秦立君.中北大學(xué) 2018
[2]微懸臂梁的沖擊、靜電和阻尼研究[D]. 李向光.中北大學(xué) 2014



本文編號(hào)：2931779