大面積陣列微特征激光沖擊液體柔性微成形研究
【學位授予單位】:江蘇大學
【學位級別】:碩士
【學位授予年份】:2019
【分類號】:TH165;TG665
【圖文】:
來隨著工業(yè)技術(shù)和社會的迅速發(fā)展,產(chǎn)品的制造趨向于兩個極型化發(fā)展,例如大飛機、大運載。另一種是電子行業(yè)和精密儀展,產(chǎn)品的微型化和集成化已成為制造業(yè)的一個重要的趨勢,統(tǒng)(MEMS)、微系統(tǒng)(MST)、醫(yī)療、電子通訊等領(lǐng)域[1-4]。自 2微機電系統(tǒng)就以體積小、集成化、耗能低和多功能等優(yōu)勢而受界、制造業(yè)以及政府部門的高度重視,紛紛投以大量的資產(chǎn)對,微型產(chǎn)品的產(chǎn)業(yè)化極大地推動了與之相關(guān)的微型零部件加工例如 LIGA 技術(shù)[5]、微細電化學加工[6]以及超精密機械加工等越來越復(fù)雜的結(jié)構(gòu)以及高效率、低成本、高精度、大批量等微固有特點對這些微加工技術(shù)提出了很大的挑戰(zhàn)。因此,人們想度的塑性成形工藝應(yīng)用于微尺度零件的制造,基于傳統(tǒng)常規(guī)尺曲、沖裁、拉深等)發(fā)展而來的微尺度的成形技術(shù)有望滿足這通過微成形技術(shù)制造出的微型零部件[8,9]。
圖 1.2 激光沖擊微成形的原理示意圖[19]Fig.1.2 Schematic diagram of laser shock microforming激光沖擊微成形作為一種效率高、成本低、柔性好的先進制造技術(shù),在MEM密儀器等領(lǐng)域都有著廣闊的應(yīng)用前景,受到了國內(nèi)外學者廣泛的關(guān)注和2002 年,美國 Lawrence Livermore 國家實驗室 Hackel 等學者[20]提出利用擊強化裝置對金屬板料進行三維彎曲成形的成形原理和精確成形方法,并激光沖擊用于板材和桿件的校形。同年,江蘇大學的周建忠教授、張永康人[21,22]提出利用激光誘導(dǎo)的高壓沖擊波實現(xiàn)板料的塑性成形,其是一種結(jié)沖擊強化和板料成形的復(fù)合成形技術(shù),并利用實驗對該技術(shù)進行了初步的2003 年,美國中佛羅里達大學 Thord Thorslund 等學者[23]建立了數(shù)學模型光沖擊過程中的溫度、壓力和殘余應(yīng)力進行計算,并且開展了不同加載方激光直接沖擊、吸收層、約束層)的激光沖擊實驗。實驗結(jié)果表明,在有情況下激光沖擊過程中可以獲得更高的等離子體沖擊壓力,并指出當沖擊
藝參數(shù)對超薄銅箔變形行為的影響,并基于 Johnson-Cook 失效模型模擬了該工藝過程中材料的斷裂行為。2010 年,Gao 和 Cheng[11]通過激光動態(tài)微成形技術(shù)(μLDF)在鋁薄膜上成形出一系列三維微結(jié)構(gòu),并構(gòu)建了工藝圖探索合適的工藝參數(shù)。通過聚焦粒子束和掃描電鏡研究發(fā)現(xiàn) 2.5μm 的鋁箔成形件厚度減薄率達到了 50%~40%,但頸縮處并未發(fā)生破裂失效,表現(xiàn)出了超塑性變形行為,呈現(xiàn)出較高的成形性能。同年,美國普渡大學的 Li 等人[28]通過實驗和數(shù)值模擬研究了激光動態(tài)微成形過程中鋁箔的成形極限和斷裂失效行為。與其他成形工藝相比,成形極限圖分析結(jié)果表明鋁箔的成形性能在激光動態(tài)微成形過程中受超高應(yīng)變率的影響顯著提高,分析認為激光動態(tài)成形性能的大幅提高是由于高應(yīng)變率敏感性和慣性效應(yīng)有利于延遲空洞的增長。2012 年,Ye 和 Cheng[29]通過激光沖擊直接壓印在 NiTi 形狀記憶合金表面上加工微型結(jié)構(gòu)特征,如圖 1.3 所示。另外,采用透射電子顯微鏡(TEM)觀察了形狀記憶合金 NiTi 壓印前后的微觀結(jié)構(gòu),可以看到成形后的 NiTi 材料中存在著大量的位錯。
【參考文獻】
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本文編號:2792992
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