【摘要】：作為目前國際上新興的一種微納薄膜的制備方法,靜電噴霧沉積是使帶電液滴在高壓靜電場的作用下破碎成為大量的荷電霧滴,并在電場力的作用下沉積于收集板上形成微納薄膜的技術(shù)。靜電噴霧技術(shù)已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于各個領(lǐng)域并且取得了理想的進(jìn)展。本文將靜電噴霧沉積技術(shù)應(yīng)用于玻璃漿料鍵合中間層的制備過程,引入套筒型輔助電極對霧化射流進(jìn)行約束,抑制射流在水平方向上運(yùn)動,減小沉積面積,從而實(shí)現(xiàn)射流的精確沉積。探究了靜電噴霧過程中的沉積規(guī)律。合適的極間距離有利于沉積面積并提高沉積層的均勻性;進(jìn)行供液速度與收集板運(yùn)動速度的參數(shù)匹配,將有利于表面形貌的優(yōu)化控制;減小加載電壓將有利于減小荷電霧滴荷質(zhì)比,提高射流穩(wěn)定性,經(jīng)優(yōu)化的實(shí)驗(yàn)參數(shù)為:極間距離2mm,供液速度300μl/h,收集板運(yùn)動速度20mm/s,加載電壓2kV,為玻璃漿料層制備提供實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。設(shè)計(jì)了帶輔助電極的靜電霧化系統(tǒng),仿真分析了輔助電極對聚焦電場的作用機(jī)理以及其工藝參數(shù)對電場的作用規(guī)律,優(yōu)化了輔助電極靜電噴霧沉積系統(tǒng),進(jìn)一步提高輔助電極對于帶電射流的約束作用;通過輔助電極靜電噴霧實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證仿真結(jié)果,輔助電極靜電噴霧系統(tǒng)可將玻璃漿料層線寬從794μm減小至330μm。輔助電極抑制了帶電射流水平方向運(yùn)動,有利于引導(dǎo)射流精確沉積減小沉積面積,利用輔助電極靜電噴霧系統(tǒng)成功實(shí)現(xiàn)五角星以及疊加網(wǎng)狀等復(fù)雜圖案的噴印沉積,并針對圖案化沉積過程中疊加沉積行為進(jìn)行研究,得出其沉積厚度與沉積次數(shù)之間關(guān)系y=3.045x-3.1333,最終制備出厚度為55.6μm玻璃漿料層。通過本文研究,確定靜電噴霧沉積中各因素對于沉積結(jié)果的影響規(guī)律,明確套筒型輔助電極對于帶電射流的約束作用,實(shí)現(xiàn)了靜電噴霧沉積的精確化控制以及玻璃漿料圖案的精確沉積,為靜電噴霧在玻璃漿料鍵合中的應(yīng)用提供了理論與實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
【圖文】：

１．１．２玻璃漿料層制備逡逑在中間層玻璃漿料層的制備中，現(xiàn)階段國內(nèi)外最常使用的是絲網(wǎng)印刷法，如逡逑圖１－２所示，通過刮刀往某一方向的水平運(yùn)動對堆積于絲網(wǎng)版上的玻璃漿料進(jìn)行逡逑擠壓，使得玻璃漿料通過絲網(wǎng)版上的鏤空部分轉(zhuǎn)移至下方的基底上［４］，通過改變逡逑絲網(wǎng)版的圖案來改變沉積于基底上玻璃漿料的圖案。如圖１－３所示為絲網(wǎng)版結(jié)構(gòu)逡逑圖，整個絲網(wǎng)版呈“三明治”結(jié)構(gòu)，由上下兩層膠膜以及中間一層編織網(wǎng)形成，絲逡逑網(wǎng)印刷時(shí)玻璃漿料可以通過編織網(wǎng)而不能通過膠膜，所以可以利用這一點(diǎn)通過設(shè)逡逑計(jì)膠膜的形狀來控制印刷所得圖案。逡逑Ｔ１邐刮刀逡逑／邐玻璃漿料逡逑絲剛版逡逑邐＾邐R蕕族五義賢跡保菜客∷⑹疽饌煎義賢跡保乘客娼峁雇煎義嫌捎誆ＡЫ霞隙嗍褂糜讜財(cái)斗庾�，丝网印刷蕩弄对阵列釉忚基片上的伭x纖械ピ苯�，，所疫\(yùn)客∷⒅耙運(yùn)客嬉約骯杌捉芯返畝宰跡義鮮紫刃枰詰捅斗糯缶迪率迪殖醪蕉宰跡婧笤詬弒斗糯缶迪呂檬孿燃庸こ齙膩義戲直鶇嬖謨謁客逵牘杌咨系謀曇塹憬薪徊降木范宰�。随后通过匀藘辶x隙ㄔ碩墓蔚兜募費(fèi)棺饔�，蕼厦玻璃浆临t腹客嬪系耐及富嘀粱詮楨義希沖義

本文編號：2689019