氣動(dòng)旋渦流非接觸夾持元件特性及搬運(yùn)系統(tǒng)研究
【圖文】:
圖 1.1 玻璃基板搬運(yùn)Fig.1.1 Glass substrate transport接觸運(yùn)輸方式被國內(nèi)外學(xué)者研發(fā)是懸浮技術(shù),,按工作性質(zhì)主要可[15,16]、光懸浮[17]、聲懸浮[18]、超體動(dòng)力學(xué)原理[23-30]實(shí)現(xiàn)的非接觸工業(yè)領(lǐng)域,例如 2017 年 12 月 2行[31],世界第一條商業(yè)運(yùn)營的高上海運(yùn)營[32];2016 年 9 月 21 號(hào)清員尹璋琦與美國普渡大學(xué)合作,動(dòng)模式的運(yùn)動(dòng),并提出利用腔光單個(gè)電子,以及對(duì)實(shí)現(xiàn)宏觀系統(tǒng) 微 小 扭 矩 都 有 重 大 的 幫 助[33]dhabungstechnik Gmbh 研發(fā)出了在
16]、光懸浮[17]、聲懸浮[18]、超氣體動(dòng)力學(xué)原理[23-30]實(shí)現(xiàn)的非接觸工業(yè)領(lǐng)域,例如 2017 年 12 月 25行[31],世界第一條商業(yè)運(yùn)營的高上海運(yùn)營[32];2016 年 9 月 21 號(hào)清員尹璋琦與美國普渡大學(xué)合作,動(dòng)模式的運(yùn)動(dòng),并提出利用腔光單個(gè)電子,以及對(duì)實(shí)現(xiàn)宏觀系統(tǒng) 微 小 扭 矩 都 有 重 大 的 幫 助[33]dhabungstechnik Gmbh 研發(fā)出了在0 mm 晶圓的機(jī)器人用工具(手)用超聲波在晶圓表面生成一層薄觸狀態(tài)[34]。日本 SMC 公司依據(jù)氣搬運(yùn)吸盤,通過多個(gè)吸盤組合的
【學(xué)位授予單位】:寧波大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【學(xué)位授予年份】:2018
【分類號(hào)】:TH22
【相似文獻(xiàn)】
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1 申功p
本文編號(hào):2682414
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