【摘要】：劃片機(jī)作為劃片加工設(shè)備影響著半導(dǎo)體及LED行業(yè)的發(fā)展。國內(nèi)的劃片機(jī)市場(chǎng)一直被國外精密全自動(dòng)劃片機(jī)占領(lǐng),所以研發(fā)國際領(lǐng)先的劃片設(shè)備十分必要�？諝忪o壓電主軸是砂輪劃片機(jī)的關(guān)鍵零部件之一,因此本文針對(duì)劃片機(jī)用空氣靜壓電主軸進(jìn)行了結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和性能仿真。本文的主要研究?jī)?nèi)容如下:(1)通過對(duì)電機(jī)和軸承的選擇確定了電主軸的整體結(jié)構(gòu),在整體結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上對(duì)電主軸的冷卻、密封、碳刷及氣鎖機(jī)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì),最終完成了空氣靜壓電主軸的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并且建立了三維模型。對(duì)于設(shè)計(jì)后的電主軸,完成了對(duì)標(biāo)準(zhǔn)件的選型和非標(biāo)準(zhǔn)件的材料選擇,然后對(duì)非標(biāo)準(zhǔn)件進(jìn)行了加工工藝規(guī)劃,并且已經(jīng)完成了對(duì)部分零件的加工。(2)電主軸的空氣靜壓軸承需要在已有整體結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上完成細(xì)節(jié)尺寸的設(shè)計(jì)。本文通過空氣靜壓軸承經(jīng)典工程設(shè)計(jì)算法完成了對(duì)空氣靜壓軸承的設(shè)計(jì)計(jì)算,為之后的仿真分析提供了基礎(chǔ),另外估算了軸承的承載剛度等性能,與之后仿真分析結(jié)果作對(duì)比。(3)在結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和計(jì)算過程中逐漸完善并最終完成空氣靜壓軸承的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)。從承載、剛度和功能方面考慮,決定采用四個(gè)雙排孔徑向軸承和一對(duì)止推軸承的設(shè)計(jì)方案。為了加工、定位及裝配方便現(xiàn)將一個(gè)止推軸承和四個(gè)徑向軸承設(shè)計(jì)為一體,在連接部位設(shè)計(jì)氣腔以減小擴(kuò)散效應(yīng),與外殼配合設(shè)計(jì)氣體流通回路保證軸承正常使用,對(duì)于小孔部分設(shè)計(jì)小孔節(jié)流器以避免在圓柱面上加工微小孔。(4)利用軟件ANSYS及FLUENT完成了對(duì)空氣靜壓軸承的仿真分析。通過簡(jiǎn)化軸承模型抽取氣體流場(chǎng)作為空氣靜壓軸承的仿真模型,以實(shí)際工況作為邊界條件,驗(yàn)證了設(shè)計(jì)計(jì)算的結(jié)果。通過改變不同的工作壓力、小孔直徑、氣膜厚度及偏心大小,根據(jù)仿真結(jié)果,優(yōu)化了軸承模型。
【圖文】：

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劃片機(jī)用空氣靜壓電主軸結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與性能分析當(dāng)時(shí)占有８０％的市場(chǎng)份額，自此以后，日本Ｄｉｓｃｏ公司生產(chǎn)的劃片機(jī)機(jī)的市場(chǎng)中也一直處于重要的位置。隨后世界上也有其它公司研制成，目前世界上的主要?jiǎng)澠瑱C(jī)生產(chǎn)廠家有：日本Ｄｉｓｃｏ公司、東京精密韓國ＮＥＯＮＴＥＣＨ公司、以色列ＡＤＴ公司、英國Ｌｏａｄｐｏｉｎｔ公司等。代表產(chǎn)片如下圖所示。逡逑；
【學(xué)位授予單位】：湖南大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2018
【分類號(hào)】：TH133.2

【參考文獻(xiàn)】

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1 張維煜;朱q，

本文編號(hào)：2654886