【摘要】：正微納制造技術(shù)是高端制造業(yè)發(fā)展的重要分支之一,為高端裝備、集成電路、新能源、新材料、生物醫(yī)藥等領(lǐng)域提供了關(guān)鍵的技術(shù)支撐。飛秒激光微納制造技術(shù)是微納制造的最理想方法之一,是多個(gè)領(lǐng)域核心部件關(guān)鍵制造技術(shù)瓶頸問題的重要解決途徑。在飛秒激光微納制造領(lǐng)域,激光誘導(dǎo)材料損傷是一個(gè)研究重點(diǎn),蘊(yùn)含著豐富的物理意義。其中,激光誘導(dǎo)表面周期性結(jié)構(gòu)(1aser-induced periodic surface structure,LIPSS/ripple)是一個(gè)普遍的現(xiàn)象。自激光器問世以來,人們?cè)诩す廨椪者^的材料表面觀察到了這種具有一定周期和方向的表面微納結(jié)構(gòu),并成為一種新的微納結(jié)構(gòu)制備技術(shù)。由于具有特定尺寸形狀和排

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