【摘要】：基于MEMS技術(shù)的熱敏式微傳感器為壁面剪應(yīng)力的測量提供了重要手段。本文介紹了國內(nèi)外熱敏式壁面剪應(yīng)力微傳感器技術(shù)的研究發(fā)展現(xiàn)狀,重點(diǎn)從硅基和柔性聚合物基2種結(jié)構(gòu)角度,對其工作原理以及不同熱敏式微傳感器的結(jié)構(gòu)、關(guān)鍵工藝和性能測試進(jìn)行了分析。
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圖片說明：圖１熱敏式微傳感器工作原理示意圖Ｆｉｇ．１Ｓｃｈｅｍａｔｉｃｖｉｅｗｏｆｔｈｅｔｈｅｒｍａｌｓｅｎｓｏｒｓｗｏｒｋｉｎｇｐｒｉｎｃｉｐｌｅ通過強(qiáng)制對流傳熱到流體中的熱量為：
[Abstract]:The thermal sensitive microsensor based on MEMS technology provides an important means for the measurement of wall shear stress. In this paper, the research and development status of thermal sensitive wall shear stress microsensor technology at home and abroad is introduced. the working principle, the structure, key technology and performance test of different thermal sensitive microsensors are analyzed from the point of view of silicon based and flexible polymer based microsensors.
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(xiàng)(2013YQ040911)
【分類號(hào)】：TH-39;TP212

【參考文獻(xiàn)】

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1 馬炳和;王毅;姜澄宇;李雁冰;王雷濤;;柔性熱膜剪應(yīng)力傳感器水下測量溫度修正[J];實(shí)驗(yàn)流體力學(xué);2014年02期

2 肖同新;馬炳和;鄧進(jìn)軍;李雁冰;王毅;;基于柔性熱膜傳感器的流體壁面剪應(yīng)力測量系統(tǒng)[J];傳感器與微系統(tǒng);2013年07期

3 馬炳和;趙建國;鄧進(jìn)軍;苑偉政;;全柔性熱膜微傳感器陣列制造工藝及性能優(yōu)化[J];光學(xué)精密工程;2009年08期

4 劉奎;苑偉政;鄧進(jìn)軍;馬炳和;姜澄宇;;微型熱敏傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及仿真分析[J];航空學(xué)報(bào);2007年02期

5 劉奎;苑偉政;馬炳和;鄧進(jìn)軍;姜澄宇;;微型熱敏傳感器系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性理論研究[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2006年06期

6 劉奎;苑偉政;鄧進(jìn)軍;馬炳和;姜澄宇;;基于微型剪應(yīng)力傳感器陣列的邊界層分離點(diǎn)測定方法研究[J];航空學(xué)報(bào);2006年01期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 韋青燕;張?zhí)旌?沈杰;金暉;;恒溫型熱線風(fēng)速測量系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性分析及試驗(yàn)驗(yàn)證[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2015年10期

2 田于逵;謝華;黃歡;孫海浪;張楠;沈雪;;MEMS壁面剪應(yīng)力傳感器陣列水下標(biāo)定實(shí)驗(yàn)研究[J];實(shí)驗(yàn)流體力學(xué);2015年02期

3 朱鵬飛;馬炳和;姜澄宇;鄧進(jìn)軍;王云龍;;基于驅(qū)動(dòng)電流的水下熱敏剪應(yīng)力微傳感器靈敏度研究[J];傳感器與微系統(tǒng);2014年09期

4 馬炳和;王毅;姜澄宇;李雁冰;王雷濤;;柔性熱膜剪應(yīng)力傳感器水下測量溫度修正[J];實(shí)驗(yàn)流體力學(xué);2014年02期

5 馬炳和;郝日鵬;鄧進(jìn)軍;朱鵬飛;;隔熱背腔式柔性熱膜探頭的設(shè)計(jì)及其微加工[J];航空工程進(jìn)展;2013年03期

6 孫永明;劉武;張衛(wèi)平;陳宏海;;基于聚酰亞胺基底的熱剪切應(yīng)力傳感器設(shè)計(jì)[J];傳感器與微系統(tǒng);2013年08期

7 肖同新;馬炳和;鄧進(jìn)軍;李雁冰;王毅;;基于柔性熱膜傳感器的流體壁面剪應(yīng)力測量系統(tǒng)[J];傳感器與微系統(tǒng);2013年07期

8 陳宏海;劉武;孫永明;張衛(wèi)平;陳文元;崔峰;吳校生;;基于聚酰亞胺基底的熱線式剪切應(yīng)力傳感器[J];微納電子技術(shù);2013年01期

9 馬騁宇;馬炳和;孫海浪;莊成乾;;面向壁面剪應(yīng)力測量的底層隔板微敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與制造[J];航空學(xué)報(bào);2013年04期

10 王文君;劉武;張衛(wèi)平;陳文元;楊春生;崔峰;吳校生;;柔性微熱剪切應(yīng)力傳感器陣列[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2012年06期

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前6條

1 馬炳和;傅博;李建強(qiáng);鄧進(jìn)軍;董拴成;;濺射-電鍍微成型制造柔性熱膜傳感器陣列[J];航空學(xué)報(bào);2011年11期

2 馬炳和;趙建國;鄧進(jìn)軍;苑偉政;;全柔性熱膜微傳感器陣列制造工藝及性能優(yōu)化[J];光學(xué)精密工程;2009年08期

3 馬炳和;周保清;鄧進(jìn)軍;苑偉政;;MEMS微型熱敏傳感器的隔熱結(jié)構(gòu)及其性能分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年06期

4 劉奎;苑偉政;鄧進(jìn)軍;馬炳和;姜澄宇;;微型熱敏傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及仿真分析[J];航空學(xué)報(bào);2007年02期

5 肖素艷;車錄鋒;李昕欣;王躍林;;基于柔性MEMS皮膚技術(shù)溫度傳感器陣列的研究[J];光學(xué)精密工程;2005年06期

6 李鐘慎;基于MATLAB設(shè)計(jì)巴特沃斯低通濾波器[J];信息技術(shù);2003年03期

【相似文獻(xiàn)】

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1 孫寶云;馬炳和;鄧進(jìn)軍;姜澄宇;;熱敏式壁面剪應(yīng)力微傳感器技術(shù)研究進(jìn)展[J];實(shí)驗(yàn)流體力學(xué);2017年02期

2 高俊云;王首成;;橋式起重機(jī)主梁端部剪應(yīng)力的有限元計(jì)算與測試分析[J];起重運(yùn)輸機(jī)械;2011年07期

3 王燕霜;鄧四二;王恒迪;李云峰;楊海生;;重載點(diǎn)接觸熱彈流潤滑中滾子表面剪應(yīng)力分析[J];機(jī)械傳動(dòng);2008年06期

4 徐秉業(yè);劉信聲;;關(guān)于確定滑移線場中α線和θ角的討論[J];機(jī)械強(qiáng)度;1986年01期

5 張國威;銳緣硬質(zhì)輪在金屬表面的滾動(dòng)與滑動(dòng)[J];摩擦學(xué)學(xué)報(bào);1994年02期

6 高金良;彎曲剪應(yīng)力對軸強(qiáng)度的影響[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與制造;2004年02期

7 王仲民;戴怡;趙輝;;混沌遺傳混合算法及其在彈簧剪應(yīng)力校核中的應(yīng)用[J];兵工學(xué)報(bào);2009年08期

8 郭博智;宋筆鋒;孫法國;崔衛(wèi)民;;O形圈的有限元分析[J];液壓與氣動(dòng);2009年01期

9 趙菊初;漸開線齒輪點(diǎn)蝕成因新釋[J];機(jī)械設(shè)計(jì);2002年07期

10 張小小;傅四海;歐藹新;;化學(xué)機(jī)械拋光在MEMS中的應(yīng)用[J];南方農(nóng)機(jī);2016年10期

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1 閆曉亮;王曉力;張玉言;;潤滑油的非牛頓特性對混合潤滑和疲勞壽命的影響[A];第十一屆全國摩擦學(xué)大會(huì)論文集[C];2013年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前1條

1 陳蓓;高性能MEMS風(fēng)速風(fēng)向傳感器環(huán)境效應(yīng)研究[D];東南大學(xué);2016年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前8條

1 李豐;壓電式MEMS傳感器的穩(wěn)健設(shè)計(jì)研究[D];北方工業(yè)大學(xué);2017年

2 廖文平;基于MEMS傳感器的姿態(tài)解算的FPGA實(shí)現(xiàn)[D];長沙理工大學(xué);2015年

3 莊猛;MEMS傳感器三維引線鍵合系統(tǒng)研制[D];蘇州大學(xué);2016年

4 李柯利;基于電化學(xué)微細(xì)加工的MEMS能量采集器研究[D];上海師范大學(xué);2018年

5 梅崴;激光點(diǎn)火系統(tǒng)用MEMS光開關(guān)研究與設(shè)計(jì)[D];中國航天科技集團(tuán)公司第一研究院;2016年

6 何文苗;新型MEMS光學(xué)開關(guān)的設(shè)計(jì)與分析[D];沈陽理工大學(xué);2014年

7 趙立敏;MEMS微驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)、工藝及應(yīng)用[D];西安電子科技大學(xué);2014年

8 姚莉楠;基于MEMS的滑動(dòng)軸承動(dòng)壓油膜3D檢測方法的研究[D];河北工業(yè)大學(xué);2014年

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本文編號(hào)：2511384