【摘要】：為延長(zhǎng)機(jī)械密封環(huán)的工作壽命,采用熱絲化學(xué)氣相沉積法在碳化硅陶瓷機(jī)械密封環(huán)工作表面涂覆具有耐磨減摩特性的、厚度30~50μm微米金剛石(MCD)、納米金剛石(NCD)和微納米金剛石(MNCD)薄膜。分析結(jié)果表明:MCD薄膜的拉曼光譜具有明顯的多晶金剛石特征峰,NCD和MNCD薄膜的拉曼光譜中出現(xiàn)了代表石墨和不定型碳的G峰和D峰。利用平面拋光實(shí)驗(yàn),對(duì)比MCD、NCD和MNCD涂層機(jī)械密封環(huán)后續(xù)處理的拋光特性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:MNCD涂層拋光效率高且耐磨損性能優(yōu)異,其綜合使用性能優(yōu)于MCD和NCD涂層,更適合涂覆在機(jī)械密封環(huán)表面,以增強(qiáng)其耐磨損性能。
[Abstract]:In order to prolong the working life of mechanical seal ring, hot wire chemical vapor deposition (CVD) method was used to coat silicon carbide ceramic mechanical seal ring with wear resistance and friction reducing property. The thickness of diamond (MCD), is 30 ~ 50 渭 m 渭 m. Nano-diamond (NCD) and micro-nano-diamond (MNCD) thin films. The results show that the Raman spectra of MCD thin films have obvious characteristic peaks of polycrystalline diamond and G and D peaks representing graphite and amorphous carbon appear in the Raman spectra of NCD and MNCD films. The polishing characteristics of MCD,NCD and MNCD coated mechanical seal rings were compared by plane polishing experiments. The experimental results show that the MNCD coating has high polishing efficiency and excellent wear resistance, and its comprehensive performance is better than that of MCD and NCD coatings. It is more suitable to be coated on the surface of mechanical seal ring to enhance its wear resistance.
【作者單位】： 華東理工大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;上海交通大學(xué)機(jī)械與動(dòng)力工程學(xué)院;
【基金】：中國(guó)博士后基金項(xiàng)目(2016M591614)
【分類(lèi)號(hào)】：TH136

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本文編號(hào)：2458843