本文選題：徑向回轉(zhuǎn)誤差 + 反向法��； 參考：《制造技術(shù)與機(jī)床》2017年07期

【摘要】：在超精密空氣軸承徑向回轉(zhuǎn)誤差測(cè)量中,測(cè)量系統(tǒng)中帶入的角度誤差不能忽略。為此,詳細(xì)分析了反向法下角度誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響規(guī)律,并對(duì)測(cè)量系統(tǒng)制造、裝配和數(shù)據(jù)采集過程進(jìn)行了控制,在此基礎(chǔ)上完成了徑向回轉(zhuǎn)誤差測(cè)量實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明:通過對(duì)角度誤差源的有效控制,所構(gòu)建的測(cè)量系統(tǒng)能夠很好地完成100 nm以內(nèi)量級(jí)徑向回轉(zhuǎn)誤差的測(cè)量,測(cè)量結(jié)果的一致性較好,所分離出標(biāo)準(zhǔn)球圓度誤差與標(biāo)稱值吻合。
[Abstract]:In the measurement of radial rotation error of ultra-precision air bearing, the angle error can not be ignored. Therefore, the influence of the angle error on the measurement results under the reverse method is analyzed in detail, and the manufacturing, assembly and data acquisition processes of the measurement system are controlled. On this basis, the radial rotation error measurement experiment is completed. The results show that the measurement system is able to measure the radial rotation error within 100 nm through the effective control of the angle error source, and the measurement results are consistent with each other. The standard spherical roundness error is in agreement with the nominal value.
【作者單位】： 中國工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所;
【基金】：中國工程物理研究院科技專項(xiàng):基于數(shù)值模擬的靜壓支承優(yōu)化設(shè)計(jì)與關(guān)鍵制造技術(shù)研究(9120602)
【分類號(hào)】：TH133.35

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1818726