本文選題：微傳感器 + 微機(jī)械加工　； 參考：《壓電與聲光》2002年04期

【摘要】：隨著微傳感器的廣泛應(yīng)用 ,微機(jī)械加工技術(shù)被越來越多地應(yīng)用于傳感器的制造工藝中。從微機(jī)械加工技術(shù)的關(guān)鍵工藝入手 ,分別對(duì)體微機(jī)械加工技術(shù)和表面微機(jī)械加工技術(shù)加以介紹 ,并介紹了兩種分別使用體微機(jī)械加工技術(shù)和表面微機(jī)械加工技術(shù)制造的微傳感器
[Abstract]:With the wide application of microsensors, micromachining technology is more and more used in the manufacturing process of sensors. Starting with the key technology of micromachining technology, the body micro-machining technology and the surface micro-machining technology are introduced respectively. Two kinds of microsensors manufactured by volume micromachining and surface micromachining are introduced.
【作者單位】： 天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院 天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院 天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院 天津大學(xué)電子信息工程學(xué)院
【分類號(hào)】：TP212

【共引文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1783767