本文關(guān)鍵詞：非焊接式納米線機(jī)械性能測試器件結(jié)構(gòu)設(shè)計　出處：《傳感技術(shù)學(xué)報》2017年06期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：納米線機(jī)械性能測試中,常見MEMS器件大都采用焊接或沉積方式固定納米線,限制了器件壽命和測試重復(fù)性。針對焊接方式測試的不足,設(shè)計了一種非焊接式納米線機(jī)械性能測試MEMS器件。在靜電叉指和支撐梁結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上,設(shè)計了利用梁剛度差進(jìn)行夾緊和拉伸操作的結(jié)構(gòu),其中設(shè)計了V型結(jié)構(gòu)以避免焊接納米線。利用有限元仿真軟件進(jìn)行了仿真驗證,確定了最優(yōu)結(jié)構(gòu)尺寸,V型縫隙夾角小于22.5°時能滿足納米線機(jī)械性能測試要求,所設(shè)計器件提高了測試器件的重復(fù)利用率。
【作者單位】： 上海大學(xué)機(jī)電工程與自動化學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(61573236) 上海市科委基金項目(14JC1491500)
【分類號】：TB383.1;TH-39
【正文快照】： 一維納米線作為機(jī)電系統(tǒng)、電路互連的重要基石,其機(jī)械性能的好壞將直接影響器件根本性能[1],而納米線機(jī)械性能測試是一個非常復(fù)雜和困難的工作[2]。MEMS器件在納米線測試方面具有一定優(yōu)勢,如體積小、受外界環(huán)境影響小等。國內(nèi)外學(xué)者在這方面進(jìn)行了很多探索,測得了諸多納米線的

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