本文關(guān)鍵詞：一種大工作空間密度的壓電微動二維工作臺設(shè)計

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【摘要】：針對目前微納定位工作臺工作空間密度小的問題,設(shè)計了一種新型二自由度對稱式并聯(lián)微納定位工作臺。分析了影響平行四邊形位移放大機構(gòu)變形的主要因素;對直圓柔性鉸鏈、平行板柔性鉸鏈和倒圓角直梁型柔性鉸鏈進行剛度計算;采用能量法和位移矩陣得出平行四邊形位移放大機構(gòu)輸出力和載物臺運動位移的計算公式;優(yōu)化平臺尺寸,并對優(yōu)化后的結(jié)果進行有限元仿真和實驗分析。實驗后得到設(shè)計平臺的工作空間尺寸為143.7μm×142.1μm,工作空間密度可達2.521μm~2/mm~2,與同類型平臺相比,能夠?qū)崿F(xiàn)較大的工作空間密度。
【作者單位】： 東北大學(xué)機械工程與自動化學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61573093)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 0引言微納定位技術(shù)是現(xiàn)代高新科技和現(xiàn)代工業(yè)中的一項關(guān)鍵技術(shù),在微電子制造、生物醫(yī)學(xué)、精密儀表、航空航天、超精密加工、通信定位、柔性精密傳動等諸多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用[1]。近年來,對微納定位技術(shù)提出了大行程、高精度、小體積和快速響應(yīng)等更高的要求[2],因此,有必要提，

本文編號：1241369