本文關(guān)鍵詞：考慮卡西米爾力的微納鏡扭轉(zhuǎn)彎曲耦合模型

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【摘要】：為了研究卡西米爾力對靜電驅(qū)動微納鏡的影響,文章建立了考慮卡西米爾力的微納鏡扭轉(zhuǎn)彎曲耦合模型的歸一化參數(shù)方程.通過數(shù)值解分析了歸一化參數(shù)之間的關(guān)系,并與純扭轉(zhuǎn)模型進行對比.結(jié)果表明:忽略懸臂梁的彎曲變形,會導(dǎo)致微納鏡的吸合參數(shù)的值比實際值大,造成較大的誤差;卡西米爾力的存在能夠明顯的減小微納鏡的歸一化吸合角、歸一化吸合電壓和歸一化吸合垂直位移;卡西米爾力對微納鏡歸一化吸合參數(shù)的影響還與卡西米爾力影響因子有關(guān),影響因子越大對吸合參數(shù)的影響越明顯;若驅(qū)動電壓為零,卡西米爾力的存在可能會導(dǎo)致微納鏡發(fā)生吸合.研究方法和結(jié)論為扭轉(zhuǎn)微納鏡的設(shè)計和應(yīng)用提供指導(dǎo).
【作者單位】： 江西理工大學(xué)理學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61368004) 國家人社部“2011年高層次留學(xué)人才回國資助[2011]481”
【分類號】：TH-39
【正文快照】： 0引言MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡廣泛應(yīng)用于光纖通訊、投影顯示、數(shù)據(jù)存儲、精密測量、醫(yī)療成像和生物技術(shù)等方面[1],其驅(qū)動方式主要有壓電、電磁、電熱和靜電4種[2].對靜電驅(qū)動扭轉(zhuǎn)微鏡的靜態(tài)特性,人們開展了大量的研究工作.早期,Ofir D建立了靜電驅(qū)動扭轉(zhuǎn)微制動器的靜電平衡模型,在小角度

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