本文關(guān)鍵詞：多層UV-LIGA慣性開關(guān)溫度可靠性評估研究

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【摘要】：為了評估采用UV-LIGA技術(shù)制作的多層MEMS慣性開關(guān)的溫度可靠性,進行了可靠性強化試驗。介紹了開關(guān)的結(jié)構(gòu)特征、工作原理和制作工藝。建立了試驗系統(tǒng),對開關(guān)進行溫度循環(huán)和振動沖擊試驗。利用掃描電子顯微鏡觀察開關(guān)失效模式,并利用公式進行熱應(yīng)力分析。試驗結(jié)果表明,開關(guān)主要失效模式為位錯和分層。開關(guān)熱應(yīng)力分析結(jié)果表明,種子層為開關(guān)薄弱位置。結(jié)合可靠性強化實驗和熱應(yīng)力分析結(jié)果,從結(jié)構(gòu)設(shè)計和制作工藝角度提出了可靠性強化方法。該研究為應(yīng)用于極限溫度環(huán)境下的多層UV-LIGA慣性器件的設(shè)計與制作提供了試驗依據(jù)。
【作者單位】： 南京理工大學(xué)機械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微機電系統(tǒng) 慣性開關(guān) 可靠性強化試驗
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51475245)
【分類號】：TH-39
【正文快照】： 0引言MEMS慣性開關(guān)具有尺寸小、功耗低、抗干擾能力強等優(yōu)點,在工業(yè)、汽車、航天航空以及軍事等多個領(lǐng)域得到應(yīng)用。MEMS慣性開關(guān)既可采用硅材料制作[1],也可采用金屬材料制作。硅基MEMS開關(guān)的制造工藝更加成熟,但是,硅屬于脆性材料,在高沖擊下的工作能力受到限制,并且硅的導(dǎo)電

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本文編號：1054315