本文關鍵詞：等剛度高靈敏探頭彈性機構(gòu)設計

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【摘要】：針對微型和小型元件的測量問題,設計了一種微納米三坐標測量機的接觸式探頭高靈敏彈性機構(gòu)。彈性機構(gòu)由鈹銅合金簧片、鋁合金懸浮片、鋼混合玻璃纖維探針以及紅寶石測球構(gòu)成。當測球與被測物體接觸時,簧片產(chǎn)生彈性形變,根據(jù)彈性理論對彈性機構(gòu)進行分析并對尺寸進行優(yōu)化設計,得出彈性機構(gòu)的剛度可以達到0.110 m N/μm以下。最后通過ANSYS軟件對彈性機構(gòu)進行仿真驗證,分析結(jié)果的正確性并得出結(jié)論。
【作者單位】： 安徽電氣工程職業(yè)技術學院;合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;
【關鍵詞】： 彈性機構(gòu) 微納米三坐標測量機 剛度
【基金】：安徽省高校自然科學研究重點項目(KJ2015A410) 安徽電氣工程職業(yè)技術學院重點科研項目(2015zdxm06,2015zdxm05)
【分類號】：TH721
【正文快照】： 由于現(xiàn)代先進機械制造業(yè)不斷向高精密領域發(fā)展,電火花加工、激光加工等精密與超精密、微細與超微細加工技術越來越廣泛的應用于現(xiàn)代制造業(yè)[1-2]。當零件的尺寸在厘米量級且精度要求在微米級甚至以下時,傳統(tǒng)的三坐標測量機便不能滿足測量的要求[3],所以研制測量范圍小、測量精

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本文編號：1020638