本文關(guān)鍵詞：中國(guó)經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型和產(chǎn)業(yè)升級(jí)挑戰(zhàn)政府能力——從產(chǎn)業(yè)政策的角度看中國(guó)TFT-LCD工業(yè)的發(fā)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

《上海交通大學(xué)》 2013年

液晶顯示屏刻蝕工藝廢液處理及回收技術(shù)研究

李凱華  

【摘要】：薄膜晶體液晶顯示屏（簡(jiǎn)稱液晶顯示屏，TFT-LCD）在生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生多種刻蝕廢液，如基板玻璃減薄刻蝕廢液、Al刻蝕廢液以及ITO（Indium Tin Oxide，銦錫氧化物）刻蝕廢液等，這些廢液中可再利用資源豐富，回收價(jià)值高，直接排放不但浪費(fèi)資源且污染環(huán)境。為有效的利用其中資源，本文對(duì)基板玻璃減薄刻蝕廢液中酸液處理回收以及ITO刻蝕廢液中金屬銦的回收工藝進(jìn)行了初步研究。 基板玻璃減薄蝕刻液中氟硅酸（H_2SiF_6）的累積，是導(dǎo)致蝕刻液無(wú)法連續(xù)使用而轉(zhuǎn)化為廢液的主要原因。本研究嘗試對(duì)蝕刻廢液中氟硅酸進(jìn)行選擇性脫除，探索刻蝕液的循環(huán)利用的有效處理方法。鑒于氟硅酸的堿金屬鹽具有溶解度較低的特點(diǎn)，研究考察了利用鈉鹽或鉀鹽為沉淀劑，將廢液中的H_2SiF_6以氟硅酸鹽的形式沉淀去除，為實(shí)現(xiàn)蝕刻液的循環(huán)利用提供可能。結(jié)果表明，KCl相比NaCl對(duì)H_2SiF_6處理效果更好，但生成的K_2SiF_6的結(jié)晶顆粒過(guò)細(xì)，難以自然沉降，過(guò)濾效果較差；而Na_2SiF_6結(jié)晶沉降特性較好，且使用NaCl為沉淀劑具有價(jià)廉易得等特點(diǎn)，可作為氟硅酸的理想沉淀劑。H_2SiF_6去除率與堿金屬鹽與H_2SiF_6摩爾計(jì)量比正相關(guān)，當(dāng)NaCl/H_2SiF_6摩爾計(jì)量比為2時(shí)，H_2SiF_6含量10%的模擬廢液，其H_2SiF_6去除率可達(dá)到90%以上。當(dāng)NaCl/H_2SiF_6摩爾計(jì)量比為2時(shí)實(shí)際廢液中H_2SiF_6去除率為60%左右，提高計(jì)量比至2.8，H_2SiF_6去除率可達(dá)90%以上 銦是一種重要的金屬資源，但銦資源儲(chǔ)量低、無(wú)獨(dú)立礦藏，原生銦已無(wú)法滿足市場(chǎng)需求，因此再生銦成為市場(chǎng)的新熱點(diǎn)。一般ITO刻蝕廢液中金屬銦含量較高，具有較好的回收價(jià)值。為此，本文嘗試?yán)幂腿〖夹g(shù)對(duì)ITO刻蝕液中銦資源進(jìn)行回收，考察不同萃取劑、A/O相比（水相與有機(jī)相比）、酸度等因素對(duì)銦的萃取、反萃取的影響，并分析雜質(zhì)錫的干擾，確定最佳工藝條件。結(jié)果表明：P204對(duì)銦的萃取能力優(yōu)于P507；酸度越大，P204對(duì)銦的萃取效果越差；銦的萃取效率與A/O相比負(fù)相關(guān)，但相比增大可提高有機(jī)相中銦的濃度；選取HCl作為反萃劑；反萃A/O相比對(duì)銦的反萃效率沒(méi)有太大影響，但A/O相比的降低可提高溶液中銦的濃度；經(jīng)過(guò)萃取、反萃過(guò)程，能夠?qū)崿F(xiàn)銦、錫的分離。P204對(duì)銦的最佳萃取條件： P204最佳濃度25%，磺化煤油為稀釋溶劑，萃取A/O相比為2/1，液相酸度控制在1.510~5mg/L左右，經(jīng)5min萃取反應(yīng)達(dá)到萃取平衡，工藝在常溫下進(jìn)行；反萃條件：反萃劑為3mol/LHCl，反萃時(shí)間5min，，反萃相比A/O控制在1/4~1/8范圍內(nèi)，常溫操作。 通過(guò)上述研究，在杭州某公司搭建玻璃減薄刻蝕廢液處理中試裝置。測(cè)試數(shù)據(jù)表明，氟硅酸去除效果良好，處理后酸液可回收利用。相關(guān)結(jié)果為該技術(shù)工藝的工業(yè)化應(yīng)用提供了寶貴的參考資料。

【關(guān)鍵詞】：
【學(xué)位授予單位】：上海交通大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2013
【分類號(hào)】：X703
【目錄】：

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【參考文獻(xiàn)】

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相關(guān)機(jī)構(gòu)

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相關(guān)作者

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  本文關(guān)鍵詞：中國(guó)經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型和產(chǎn)業(yè)升級(jí)挑戰(zhàn)政府能力——從產(chǎn)業(yè)政策的角度看中國(guó)TFT-LCD工業(yè)的發(fā)展，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

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