本文關(guān)鍵詞：現(xiàn)場真空校準(zhǔn)裝置性能研究

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【摘要】：研制了一臺校準(zhǔn)范圍為10~(-5)~10~5Pa的現(xiàn)場真空校準(zhǔn)裝置。將不同種類單一成分的校準(zhǔn)氣體引入裝置上游室,通過幾何尺寸為微米量級激光小孔的衰減,建立校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)壓力p_(std)。上游室壓力變化范圍為1~10~3Pa,相應(yīng)地,校準(zhǔn)室內(nèi)對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)壓力范圍10~(-5)~10~(-2)Pa(N2),測量不確定度為2.4%。另外,該裝置可采用與標(biāo)準(zhǔn)真空計直接比較進(jìn)行動態(tài)或靜態(tài)校準(zhǔn),其極限真空度為10~(-6)Pa量級。對裝置暴露大氣后的抽氣性能、靜態(tài)壓升及其主要計量特性進(jìn)行了實驗研究。實驗結(jié)果表明,該裝置外形尺寸以及質(zhì)量分別為475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校準(zhǔn)范圍為1.9×10~(-5)~1.0×10~5Pa,相對合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為2.8%~0.40%。
【作者單位】： 蘭州空間技術(shù)物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 現(xiàn)場校準(zhǔn) 壓力衰減法 直接比較 計量特性
【分類號】：TB77
【正文快照】： 近年來,由于航天、船舶、兵器等國防工業(yè)以及科研領(lǐng)域的諸多真空應(yīng)用需求在促使真空計量技術(shù)參數(shù)擴(kuò)充、量限拓展的同時,更著力于解決真空原位測量準(zhǔn)確性的問題[1]。高能加速器、大型空間環(huán)模設(shè)備、集成電路生產(chǎn)線等真空計使用單位提出,實驗室校準(zhǔn)在穩(wěn)定、平衡(靜態(tài)或動態(tài))的狀

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：988414