本文關鍵詞：現場真空校準裝置性能研究

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【摘要】：研制了一臺校準范圍為10~(-5)~10~5Pa的現場真空校準裝置。將不同種類單一成分的校準氣體引入裝置上游室,通過幾何尺寸為微米量級激光小孔的衰減,建立校準用標準壓力p_(std)。上游室壓力變化范圍為1~10~3Pa,相應地,校準室內對應的標準壓力范圍10~(-5)~10~(-2)Pa(N2),測量不確定度為2.4%。另外,該裝置可采用與標準真空計直接比較進行動態(tài)或靜態(tài)校準,其極限真空度為10~(-6)Pa量級。對裝置暴露大氣后的抽氣性能、靜態(tài)壓升及其主要計量特性進行了實驗研究。實驗結果表明,該裝置外形尺寸以及質量分別為475 mm×420 mm×800 mm、37.8 kg,校準范圍為1.9×10~(-5)~1.0×10~5Pa,相對合成標準不確定度為2.8%~0.40%。
【作者單位】： 蘭州空間技術物理研究所;
【關鍵詞】： 現場校準 壓力衰減法 直接比較 計量特性
【分類號】：TB77
【正文快照】： 近年來,由于航天、船舶、兵器等國防工業(yè)以及科研領域的諸多真空應用需求在促使真空計量技術參數擴充、量限拓展的同時,更著力于解決真空原位測量準確性的問題[1]。高能加速器、大型空間環(huán)模設備、集成電路生產線等真空計使用單位提出,實驗室校準在穩(wěn)定、平衡(靜態(tài)或動態(tài))的狀

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