本文關(guān)鍵詞：摻鈦氧化鋅納米薄膜微結(jié)構(gòu)及其光電性能研究

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【摘要】：采用射頻磁控濺射法,以不同保溫時間的摻鈦氧化鋅為靶材在普通玻璃襯底上制備了TZO(摻鈦氧化鋅)薄膜樣品,測試其微結(jié)構(gòu)和光電性能,從而獲得制備性能優(yōu)越的TZO薄膜所需靶材的最佳條件。測試結(jié)果表明,所有樣品均為具有c軸擇優(yōu)取向的六角鉛鋅礦多晶納米薄膜;靶材燒結(jié)溫度和保溫時間對薄膜微結(jié)構(gòu)和光電性能有較大影響;以經(jīng)1 500℃燒結(jié)并保溫6h的靶材所制備的薄膜光電性能較好,具有較大晶粒尺寸,在可見光區(qū)(400~760nm)有較高的平均透過率91.16%,較低電阻率1.07×10-4Ω·cm,較高的載流子濃度和較大遷移率。
【作者單位】： 廣西大學(xué)物理科學(xué)與工程技術(shù)學(xué)院;廣西大學(xué)行健文理學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 摻鈦氧化鋅薄膜 磁控濺射 保溫時間 微結(jié)構(gòu) 光電性能
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(11265002) 廣西自然科學(xué)重點基金資助項目(2010GXNSFD013036) 廣西大學(xué)行健文理學(xué)院科研基金資助項目(2014ZKLX01)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 1引言氧化物透明導(dǎo)電薄膜(TCO)由于在可見光區(qū)的透過率超過80%、電阻率低于10-3Ω·cm等方面存在優(yōu)越的光電性能,因而在液晶顯示、太陽能電池、發(fā)光二極管、防靜電、防微波輻射等領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用,并已經(jīng)成為透明導(dǎo)電膜的主角之一[1]。目前在TCO家族中,摻錫氧化銦透明導(dǎo)電薄膜

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 朱新德;李勝利;劉漢洲;敖青;孫良成;王峰;;漿料組成對錳酸鍶鑭薄膜微結(jié)構(gòu)和性能的影響[J];硅酸鹽學(xué)報;2009年08期

2 張敏;胡小剛;楊曉旭;徐菲菲;金光浩;邵志剛;;基片偏壓對電弧離子鍍ZrN薄膜微結(jié)構(gòu)和表面形貌的影響(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2012年S1期

3 張溪文,沈大可,韓高榮;硼摻雜對非晶硅薄膜微結(jié)構(gòu)和光電性能的影響[J];材料科學(xué)與工程;2001年01期

4 周民杰;羅炳池;李愷;張繼成;李佳;吳衛(wèi)東;;Cu摻雜對Be薄膜微結(jié)構(gòu)的影響(英文)[J];Transactions of Nonferrous Metals Society of China;2012年05期

5 張寶慶;史國權(quán);石廣豐;宋林森;;機械刻劃光柵多層復(fù)合鋁薄膜微結(jié)構(gòu)及力學(xué)性能分析[J];長春理工大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2012年04期

6 張雪峰;李會容;武昭妤;;快速熱處理對BaSrTiO_3薄膜微結(jié)構(gòu)的影響[J];材料工程;2009年09期

7 李雄軍;孔金丞;王光華;余連杰;孔令德;楊麗麗;邱鋒;李`，

本文編號：966604