本文關鍵詞：摻鈦氧化鋅納米薄膜微結構及其光電性能研究

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【摘要】：采用射頻磁控濺射法,以不同保溫時間的摻鈦氧化鋅為靶材在普通玻璃襯底上制備了TZO(摻鈦氧化鋅)薄膜樣品,測試其微結構和光電性能,從而獲得制備性能優(yōu)越的TZO薄膜所需靶材的最佳條件。測試結果表明,所有樣品均為具有c軸擇優(yōu)取向的六角鉛鋅礦多晶納米薄膜;靶材燒結溫度和保溫時間對薄膜微結構和光電性能有較大影響;以經1 500℃燒結并保溫6h的靶材所制備的薄膜光電性能較好,具有較大晶粒尺寸,在可見光區(qū)(400~760nm)有較高的平均透過率91.16%,較低電阻率1.07×10-4Ω·cm,較高的載流子濃度和較大遷移率。
【作者單位】： 廣西大學物理科學與工程技術學院;廣西大學行健文理學院;
【關鍵詞】： 摻鈦氧化鋅薄膜 磁控濺射 保溫時間 微結構 光電性能
【基金】：國家自然科學基金資助項目(11265002) 廣西自然科學重點基金資助項目(2010GXNSFD013036) 廣西大學行健文理學院科研基金資助項目(2014ZKLX01)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 1引言氧化物透明導電薄膜(TCO)由于在可見光區(qū)的透過率超過80%、電阻率低于10-3Ω·cm等方面存在優(yōu)越的光電性能,因而在液晶顯示、太陽能電池、發(fā)光二極管、防靜電、防微波輻射等領域有著廣泛應用,并已經成為透明導電膜的主角之一[1]。目前在TCO家族中,摻錫氧化銦透明導電薄膜

【相似文獻】

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本文編號：966604