本文關鍵詞：主軸微細超聲振動系統(tǒng)的微振幅測量

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【摘要】：在微細超聲加工與微細超聲振動輔助加工中,微振幅是關鍵的加工參數(shù),直接影響到加工精度與加工效率。對于只有幾μm甚至更小的振幅,很難用傳統(tǒng)的振幅測量方法測量出來。針對主軸微細超聲振動系統(tǒng)輸出的微振幅,提出了一種新的微振幅在線測量方法。利用精密微三維運動平臺的高分辨率,將平臺A軸的運動與微細工具所受實時力結合起來,使其形成閉環(huán)運動控制系統(tǒng)。通過設定相同的接觸力,計算有超聲與無超聲作用于微細工具A軸坐標值的變化,即可獲得微細工具的振幅值。應用這一新的振幅測量方法,成功地測量出精確到0.1μm的振幅值。
【作者單位】： 嶺南師范學院機電工程研究所;廣東工業(yè)大學機電工程學院;
【關鍵詞】： 微振幅 測量 微細超聲振動系統(tǒng) 微三維運動平臺 閉環(huán)控制
【基金】：嶺南師范學院自然科學研究項目(ZL1502);嶺南師范學院“新材料與先進制造”協(xié)同創(chuàng)新中心項目(CIL1504)
【分類號】：TB53
【正文快照】： 0引言超聲加工以及超聲輔助加工中,超聲振幅是一個關鍵的加工參數(shù),關系到加工效率與加工精度,甚至是實驗的成敗,因此,實現(xiàn)對超聲振幅的測量至關重要。目前適合于振幅測量的方法主要有:物理觀察法[1-2]、電測法[3]、光學法[4-5]等。物理觀察法主要是利用高頻振動特性及視覺滯留

【相似文獻】

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4 彭建紅;超聲攪拌復合焊接振動系統(tǒng)設計及超聲波作用效應研究[D];中南大學;2012年

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本文編號：939592