本文關(guān)鍵詞：微電容檢測(cè)電路的設(shè)計(jì)和噪聲分析

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【摘要】：微電容檢測(cè)電路需要測(cè)量由電容式微機(jī)械超聲換能器產(chǎn)生的高頻微弱且?jiàn)A雜噪聲的信號(hào),針對(duì)此問(wèn)題,文中首先設(shè)計(jì)了基于跨阻放大的檢測(cè)電路;然后構(gòu)建了檢測(cè)電路的等效噪聲模型,并根據(jù)噪聲理論和疊加原理,推導(dǎo)了電路的輸出噪聲計(jì)算公式,進(jìn)而算出電路噪聲電壓;最后通過(guò)水下測(cè)試系統(tǒng)的搭建驗(yàn)證了微電容檢測(cè)電路的可行性,并測(cè)得電路實(shí)際檢測(cè)精度為5 n A,與理論計(jì)算檢測(cè)精度為相同量級(jí),證明了文中提出的噪聲模型與計(jì)算公式的正確性。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測(cè)試技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 檢測(cè)電路 噪聲模型 噪聲計(jì)算 檢測(cè)精度
【基金】：國(guó)家杰出青年科學(xué)基金項(xiàng)目(61525107) 國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61127008)
【分類號(hào)】：TB552
【正文快照】： 0引言隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了電容式微機(jī)械超聲換能器(c MUT)[1]。電容式微機(jī)械超聲換能器具有靈敏度高、頻帶寬、易于制造成大陣列[2]等優(yōu)勢(shì),因此其被廣泛應(yīng)用在壓力、濕度、加速度、位移、氣體等檢測(cè)中[3]。電容式微機(jī)械超聲換能器在接受超聲波作用時(shí),自身的電容變化僅為

【相似文獻(xiàn)】

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3 黃雨o

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