本文關(guān)鍵詞：AZO透明導(dǎo)電薄膜光電性能的研究進(jìn)展

  更多相關(guān)文章： AZO薄膜 磁控濺射 光電性能 AZO/metal/AZO多層膜

【摘要】：摻鋁氧化鋅(AZO)薄膜其原料來(lái)源廣、經(jīng)濟(jì)無(wú)毒,且具有優(yōu)越的光電性能,可以與傳統(tǒng)銦錫氧化物(ITO)薄膜相媲美,是優(yōu)良的透明導(dǎo)電材料。目前,關(guān)于各制備工藝參數(shù)對(duì)AZO薄膜的影響規(guī)律及其影響機(jī)理仍是研究熱點(diǎn)。綜述了透明導(dǎo)電AZO薄膜光學(xué)與電學(xué)性能的研究進(jìn)展,討論了各制備工藝條件對(duì)薄膜性能的影響,分析了AZO/metal/AZO多層膜的研究現(xiàn)狀,并對(duì)AZO薄膜的研究方向給予了展望。
【作者單位】： 昆明理工大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院;廣州有色金屬研究院新材料研究所;廣東省現(xiàn)代表面工程技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;現(xiàn)代材料表面工程技術(shù)國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： AZO薄膜 磁控濺射 光電性能 AZO/metal/AZO多層膜
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51302044) 廣東省金屬平臺(tái)創(chuàng)新建設(shè)(2013B091602002)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： 透明導(dǎo)電氧化物(TCO)具備優(yōu)良的導(dǎo)電性和在可見(jiàn)光波長(zhǎng)范圍內(nèi)的高透過(guò)率等性能,在顯示、新能源、智能技術(shù)領(lǐng)域中體現(xiàn)出極大的優(yōu)越性,如光電子器件、薄膜太陽(yáng)能電池、表面聲波(SAW)器件、液晶顯示器(LCDs)和傳感器等[1-3]。目前,市場(chǎng)上占主導(dǎo)地位的TCO材料仍為銦錫氧化物(ITO),，

本文編號(hào)：905322