本文關鍵詞：退火處理對ZnO薄膜壓敏性能的影響

  更多相關文章： 無機非金屬材料 ZnO基陶瓷薄膜 射頻磁控濺射 退火溫度

【摘要】：采用射頻磁控濺射技術在Si(111)襯底上生長ZnO基陶瓷薄膜,分別在650℃,750℃,850℃和900℃下退火,研究了退火溫度對ZnO基陶瓷薄膜壓敏性能的影響。結果表明,隨著退火溫度的升高,薄膜的壓敏電壓逐漸增大,非線性系數先增大后減小,漏電流密度先減小后增大。850℃退火處理后的薄膜具有較為理想的綜合電性能,其非線性系數為14.93,壓敏電壓為4.82 V,漏電流密度為0.36μA/mm~2。
【作者單位】： 江蘇大學機械工程學院;
【關鍵詞】： 無機非金屬材料 ZnO基陶瓷薄膜 射頻磁控濺射 退火溫度
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： ZnO薄膜電阻具有高非線性系數、低漏電流和高浪涌吸收能力等優(yōu)點,在上世紀七十年代已經應用在電器設備的高壓防護方面,如抑制電力系統(tǒng)防雷過電壓和操作過電壓等領域[1_5]。近年來,隨著電子計算機、家用電器、通訊技術、汽車電子工業(yè)、超大規(guī)模集成電路等方面的發(fā)展,各種電子元

【相似文獻】

中國期刊全文數據庫 前3條

1 王玉林,趙曉華;碳纖維水泥基復合材料的正、負壓敏性及其機理分析[J];復合材料學報;2005年04期

2 孫洪波;邱玉平;葉效;楊娟;徐東;;ZnO膜結構材料的壓敏性能研究進展[J];電瓷避雷器;2012年01期

3 ;[J];;年期

，

本文編號：727308