發(fā)布時(shí)間：2017-08-23 21:09

  本文關(guān)鍵詞：退火處理對(duì)ZnO薄膜壓敏性能的影響

  更多相關(guān)文章： 無(wú)機(jī)非金屬材料 ZnO基陶瓷薄膜 射頻磁控濺射 退火溫度

【摘要】：采用射頻磁控濺射技術(shù)在Si(111)襯底上生長(zhǎng)ZnO基陶瓷薄膜,分別在650℃,750℃,850℃和900℃下退火,研究了退火溫度對(duì)ZnO基陶瓷薄膜壓敏性能的影響。結(jié)果表明,隨著退火溫度的升高,薄膜的壓敏電壓逐漸增大,非線性系數(shù)先增大后減小,漏電流密度先減小后增大。850℃退火處理后的薄膜具有較為理想的綜合電性能,其非線性系數(shù)為14.93,壓敏電壓為4.82 V,漏電流密度為0.36μA/mm~2。
【作者單位】： 江蘇大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 無(wú)機(jī)非金屬材料 ZnO基陶瓷薄膜 射頻磁控濺射 退火溫度
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： ZnO薄膜電阻具有高非線性系數(shù)、低漏電流和高浪涌吸收能力等優(yōu)點(diǎn),在上世紀(jì)七十年代已經(jīng)應(yīng)用在電器設(shè)備的高壓防護(hù)方面,如抑制電力系統(tǒng)防雷過(guò)電壓和操作過(guò)電壓等領(lǐng)域[1_5]。近年來(lái),隨著電子計(jì)算機(jī)、家用電器、通訊技術(shù)、汽車電子工業(yè)、超大規(guī)模集成電路等方面的發(fā)展,各種電子元

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1 王玉林,趙曉華;碳纖維水泥基復(fù)合材料的正、負(fù)壓敏性及其機(jī)理分析[J];復(fù)合材料學(xué)報(bào);2005年04期

2 孫洪波;邱玉平;葉效;楊娟;徐東;;ZnO膜結(jié)構(gòu)材料的壓敏性能研究進(jìn)展[J];電瓷避雷器;2012年01期

3 ;[J];;年期

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本文編號(hào)：727308