發(fā)布時(shí)間：2017-08-23 08:38

  本文關(guān)鍵詞：生長(zhǎng)在硅油基底表面鐵薄膜系統(tǒng)的微結(jié)構(gòu)特性研究

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【摘要】：本文采用真空熱蒸發(fā)方法,在硅油基底表面制備一系列鐵薄膜樣品,并利用透射電子顯微鏡(TEM)和分光光度計(jì)系統(tǒng)地研究了沉積速率f以及基底溫度Ts對(duì)于鐵薄膜的微結(jié)構(gòu)、結(jié)晶性能及光學(xué)特性的影響,得到主要結(jié)論如下：(1)利用TEM對(duì)采用相同沉積厚度(5.0 nm)和基底溫度(Ts=-10.0℃)以及不同沉積速率制備的鐵薄膜系統(tǒng)的微觀結(jié)構(gòu)及結(jié)晶性進(jìn)行了研究。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：當(dāng)沉積速率f=0.01nm/s時(shí),Fe薄膜樣品呈現(xiàn)無(wú)定形結(jié)構(gòu)；當(dāng)沉積速率增大到f=0.05nm/s時(shí),可在無(wú)定形結(jié)構(gòu)中觀察到少量小尺寸晶粒；隨著沉積速率進(jìn)一步的增大,晶粒數(shù)密度逐漸增加且晶粒尺寸逐步增大,結(jié)晶度進(jìn)一步增強(qiáng)。我們認(rèn)為,這一現(xiàn)象主要與沉積原子的擴(kuò)散能力以及液相基底對(duì)沉積原子的獨(dú)特作用密切相關(guān)。(2)對(duì)沉積速率系列樣品的光學(xué)特性研究發(fā)現(xiàn)：當(dāng)沉積速率f=0.01nm/s時(shí),樣品對(duì)可見光的平均透光率高于95%,幾乎為全透明薄膜；樣品的平均透光率隨沉積速率的增大而逐漸降低,當(dāng)沉積速率f=0.45nm/s時(shí),樣品對(duì)可見光的平均透光率低于60%,呈現(xiàn)灰黑色。我們認(rèn)為薄膜的顏色與其微結(jié)構(gòu)特性及結(jié)晶性能有關(guān)。(3)對(duì)采用相同沉積厚度(5.0nm)和沉積速率(f=0.20nm/s)以及不同基底溫度制備的鐵薄膜系統(tǒng)進(jìn)行TEM觀察發(fā)現(xiàn)：當(dāng)基底溫度Ts=10.0℃時(shí),薄膜為無(wú)定形結(jié)構(gòu)；當(dāng)基底溫度低于Ts=0℃時(shí),薄膜呈現(xiàn)多晶結(jié)構(gòu),并且隨著基底溫度的降低晶粒數(shù)密度逐漸增加,晶粒尺寸逐漸減小,結(jié)晶度逐漸減弱。分析表明,這種微觀結(jié)構(gòu)及結(jié)晶性能隨基底溫度的變化規(guī)律很可能與液相基底的粘滯系數(shù)以及納米顆粒在液體表面的擴(kuò)散系數(shù)隨基底溫度Ts的改變有關(guān)。(4)對(duì)基底溫度系列樣品的光學(xué)特性研究發(fā)現(xiàn)：當(dāng)基底溫度Ts=10.0℃時(shí),樣品對(duì)可見光的平均透光率為95%左右,幾乎為全透明薄膜；隨著基底溫度降低,樣品的平均透光率逐漸降低,樣品顏色逐步加深,當(dāng)基底溫度Ts=-20.0℃時(shí),樣品對(duì)可見光的平均透光率降低到60%左右,呈現(xiàn)灰黑色。研究認(rèn)為,基底溫度影響了薄膜的微結(jié)構(gòu)特性及結(jié)晶性能,從而進(jìn)一步影響薄膜的透光性能。本文各章節(jié)內(nèi)容安排如下：第一章：主要介紹薄膜的制備方法、制備條件以及薄膜的物理特性,介紹液相基底表面金屬薄膜的研究現(xiàn)況。第二章：介紹了硅油表面鐵薄膜樣品以及鐵薄膜表征樣品的制備方法。第三章：介紹沉積速率以及基底溫度對(duì)薄膜樣品的微結(jié)構(gòu)、結(jié)晶性能及光學(xué)特性的影響,并給出合理的解釋。第四章：總結(jié)本實(shí)驗(yàn)研究的結(jié)果,并對(duì)接下來(lái)的研究提出展望。
【關(guān)鍵詞】：硅油基底 鐵薄膜 沉積速率 基底溫度 微結(jié)構(gòu) 光學(xué)特性
【學(xué)位授予單位】：浙江大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：O484
【目錄】：

• 致謝6-7
• 摘要7-9
• Abstract9-13
• 1 引言13-32
• 1.1 薄膜研究現(xiàn)狀13-21
• 1.1.1 薄膜制備方法13-17
• 1.1.2 影響薄膜生長(zhǎng)特性的因素17-19
• 1.1.3 薄膜的物理特性19-21
• 1.2 液體基底表面金屬薄膜的研究現(xiàn)狀21-30
• 1.2.1 硅油基底表面的金屬薄膜21-26
• 1.2.2 離子液體表面的金屬薄膜26-30
• 1.3 本文的主要研究?jī)?nèi)容及意義30-32
• 2 實(shí)驗(yàn)方法32-35
• 2.1 鐵薄膜樣品的制備32-34
• 2.2 鐵薄膜樣品的表征和測(cè)試34-35
• 3. 實(shí)驗(yàn)結(jié)果和分析35-49
• 3.1 沉積速率對(duì)生長(zhǎng)在硅油基底表面鐵薄膜的影響36-42
• 3.1.1 微結(jié)構(gòu)特性36-39
• 3.1.2 光學(xué)特性39-42
• 3.2 基底溫度對(duì)生長(zhǎng)在硅油基底表面鐵薄膜的影響42-49
• 3.2.1 微觀結(jié)構(gòu)特性42-46
• 3.2.2 光學(xué)特性46-49
• 4. 結(jié)論與展望49-52
• 參考文獻(xiàn)52-57
• 附錄57-60

【參考文獻(xiàn)】

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2 陳振中;;先秦時(shí)代的金器及其特點(diǎn)[J];中國(guó)經(jīng)濟(jì)史研究;2005年04期

3 楊雅立,王曉化,寇元,閔恩澤;不斷壯大的離子液體家族[J];化學(xué)進(jìn)展;2003年06期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

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本文編號(hào)：724070