本文關鍵詞：退火處理對MgO薄膜性能的影響

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【摘要】：采用磁控濺射法在石英襯底上制備了MgO薄膜并分別在不同溫度下進行退火處理。利用X射線衍射儀(XRD)和掃描電子顯微鏡(SEM)研究了MgO薄膜的結構和表面形貌隨退火溫度的變化,發(fā)現(xiàn)退火可以改善薄膜的結晶質(zhì)量,即隨著退火溫度的升高,晶粒尺寸逐漸增大,結晶性能更佳,表面更加平整。此外,通過紫外-可見光分光光度計研究了MgO薄膜光學特性的變化,發(fā)現(xiàn)隨著薄膜退火溫度的升高,可見光透射率下降,光學帶隙值逐漸減小。
【作者單位】： 南京郵電大學電子科學與工程學院;南京大學(蘇州)高新技術研究院;南京郵電大學理學院先進功能陶瓷研究中心;
【關鍵詞】： MgO薄膜 退火處理 光學特性 磁控濺射
【基金】：江蘇省自然科學基金青年基金(BK20130376,BK20130855) 國家自然科學基金(51172110,11405089) 江蘇省高校自然科學研究資助項目(13KJB140012) 蘇州市科技局納米技術專項基金(ZXG201444) 江蘇省“六大人才高峰”高層次人才項目(2014-XCL-015) 南郵校級科研項目(NY214131)
【分類號】：TB383.2;TQ132.2
【正文快照】： 0引言MgO晶體為巖鹽結構,是一種面心立方晶體,具有許多優(yōu)良性質(zhì)。其晶格常數(shù)和某些鈣鈦礦結構的材料十分相近,且熱穩(wěn)定性好,絕緣性強,適合作為高溫超導氧化物[1]、鐵電材料[2]和高磁阻材料[3]的緩沖層使用。同時,MgO薄膜因其二次電子發(fā)射系數(shù)高、抗濺射能力強[4]以及光透性好

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號：714841