本文關(guān)鍵詞：聚合物微結(jié)構(gòu)超聲壓印精密加工系統(tǒng)研究

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【摘要】：超聲壓印技術(shù)是一種聚合物微結(jié)構(gòu)成形的新方法。針對微米級超聲加工系統(tǒng)的高精度和高可靠性的要求,設(shè)計了用于聚合物微結(jié)構(gòu)超聲壓印的精密加工系統(tǒng),推導(dǎo)了換能器動力學(xué)模型并求解特征參數(shù),進行了有限元仿真與優(yōu)化,并搭建了基于壓力反饋的精密壓印測控平臺。實驗結(jié)果與理論分析結(jié)果吻合,設(shè)計的換能器系統(tǒng)改善了微米級加工中的加工精度、能量控制和可靠性,為快速批量精密壓印成形的加工系統(tǒng)提供了設(shè)計和優(yōu)化方法。
【作者單位】： 華東理工大學(xué)機械與動力工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 超聲壓印 換能器 頻率方程 有限元 柔性電子
【基金】：中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費基金資助項目(WG1514031)
【分類號】：TB559
【正文快照】： 0引言聚合物材料柔性微機電系統(tǒng)(MEMS)器件具有質(zhì)量輕,抗腐蝕,絕緣性能好及成形效率高等優(yōu)點,在精密儀器、柔性電子、生物分析芯片等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景[1]。聚合物熱壓印技術(shù)是近年發(fā)展起來的一種高效率、低成本的微結(jié)構(gòu)復(fù)制方法,但是熱壓成形需要將基片的溫度加熱到玻璃轉(zhuǎn)

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