發(fā)布時(shí)間：2017-08-04 17:24

  本文關(guān)鍵詞：第二步沉積速率和鈉摻雜對(duì)低溫生長(zhǎng)銅銦鎵硒薄膜結(jié)構(gòu)及電阻率的影響

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【摘要】：首先采用熱蒸發(fā)法在鍍鉬的PI襯底上沉積NaF薄膜,然后采用低溫三步共蒸法在有無(wú)沉積NaF的PI襯底上沉積銅銦鎵硒(CIGSe)薄膜,研究了第二步沉積速率和鈉摻雜對(duì)CIGSe薄膜結(jié)構(gòu)及電阻率的影響。結(jié)果表明:隨著第二步沉積速率增大,CIGSe薄膜的晶粒尺寸顯著增大,(220/204)擇優(yōu)取向生長(zhǎng)逐漸增強(qiáng);隨著鈉摻雜量增加,CIGSe薄膜的電阻率顯著下降,晶粒尺寸逐漸減小,擇優(yōu)取向從(220/204)織構(gòu)方向轉(zhuǎn)變?yōu)?112)織構(gòu)方向,并出現(xiàn)鎵的兩相分離現(xiàn)象。
【作者單位】： 上海電機(jī)學(xué)院數(shù)理教學(xué)部;上海太陽(yáng)能科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 銅銦鎵硒薄膜 沉積速率 鈉摻雜 低溫生長(zhǎng)
【分類(lèi)號(hào)】：TM914.4;TB383.2
【正文快照】： 0引言銅銦鎵硒(CIGSe)薄膜太陽(yáng)能電池因轉(zhuǎn)換效率高、制造成本低以及性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)而成為國(guó)際光伏界的研究熱點(diǎn)之一。目前,在玻璃襯底上制備的小面積CIGSe薄膜電池的轉(zhuǎn)換效率已達(dá)20.8%[1]。以聚酰亞胺(PI)為襯底的柔性CIGSe薄膜太陽(yáng)電池具有可卷曲、質(zhì)量比功率高、適合卷對(duì)卷

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