本文關(guān)鍵詞：張應(yīng)力對TbDy-Fe RGMF磁性能的影響

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【摘要】：通過離子束濺射沉積法制備了受不同張應(yīng)力作用的TbDy-Fe稀土超磁致伸縮薄膜樣品。借助LK-G150激光微位移傳感器和交變梯度磁強(qiáng)計分別測試薄膜的懸臂梁自由端偏轉(zhuǎn)量與磁滯回線,通過微磁學(xué)模擬軟件OOMMF模擬計算不同張應(yīng)力作用下薄膜的磁性能;研究張應(yīng)力對薄膜磁致伸縮性能及軟磁性能的影響。結(jié)果表明:張應(yīng)力能顯著提高薄膜的低場磁敏性,但其飽和磁致伸縮性能有所降低;模擬計算結(jié)果與實驗結(jié)果均表明:隨著薄膜所受張應(yīng)力的增加,薄膜的矯頑力逐漸減小,軟磁性能得到了改善。
【作者單位】： 福州大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院物理氣相沉積實驗中心;
【關(guān)鍵詞】： TbDy-Fe稀土超磁致伸縮薄膜 張應(yīng)力 離子束濺射沉積 磁性能 微磁學(xué)模擬
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(11104031)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 隨著微型機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的迅速發(fā)展,研究和開發(fā)能夠滿足MEMS技術(shù)要求的新型高性能功能材料已是刻不容緩。稀土超磁致伸縮薄膜(Rare Earth-Giant Magnetostrictive Thin Films,簡稱:RGMF)由于具有很強(qiáng)的磁致伸縮效應(yīng)、高機(jī)電耦合系數(shù)、快速響應(yīng)、器件微型化、位移量大及非

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本文編號：607722