本文關(guān)鍵詞：張應(yīng)力對TbDy-Fe RGMF磁性能的影響

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【摘要】：通過離子束濺射沉積法制備了受不同張應(yīng)力作用的TbDy-Fe稀土超磁致伸縮薄膜樣品。借助LK-G150激光微位移傳感器和交變梯度磁強計分別測試薄膜的懸臂梁自由端偏轉(zhuǎn)量與磁滯回線,通過微磁學(xué)模擬軟件OOMMF模擬計算不同張應(yīng)力作用下薄膜的磁性能;研究張應(yīng)力對薄膜磁致伸縮性能及軟磁性能的影響。結(jié)果表明:張應(yīng)力能顯著提高薄膜的低場磁敏性,但其飽和磁致伸縮性能有所降低;模擬計算結(jié)果與實驗結(jié)果均表明:隨著薄膜所受張應(yīng)力的增加,薄膜的矯頑力逐漸減小,軟磁性能得到了改善。
【作者單位】： 福州大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院物理氣相沉積實驗中心;
【關(guān)鍵詞】： TbDy-Fe稀土超磁致伸縮薄膜 張應(yīng)力 離子束濺射沉積 磁性能 微磁學(xué)模擬
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(11104031)
【分類號】：TB383.2
【正文快照】： 隨著微型機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)的迅速發(fā)展,研究和開發(fā)能夠滿足MEMS技術(shù)要求的新型高性能功能材料已是刻不容緩。稀土超磁致伸縮薄膜(Rare Earth-Giant Magnetostrictive Thin Films,簡稱:RGMF)由于具有很強的磁致伸縮效應(yīng)、高機電耦合系數(shù)、快速響應(yīng)、器件微型化、位移量大及非

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本文編號：607722