本文關鍵詞：精密光學玻璃平板檢測儀器的隔振系統(tǒng)優(yōu)化設計

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【摘要】：伴隨著科學技術的不斷進步,精密加工設備和精密測量儀器的精度也在逐漸提高。來自環(huán)境的振動干擾對精密儀器的測量精度的影響不可忽略,精密測量儀器的隔振技術已成為本領域科學研究和工程應用中的重要課題。為了滿足精密儀器工作時對振動的控制要求,需要針對不同的設備采用不同的隔振系統(tǒng),來取得更加優(yōu)異的隔振效果,使得精密儀器能夠獲得穩(wěn)定的工作環(huán)境。本文針對一種高精度的大型平板顯示屏自動光學檢測儀器機臺隔振系統(tǒng),提出了雙層隔振方案,較為系統(tǒng)地研究了雙層隔振系統(tǒng)的有關基礎理論,在此基礎上對平板顯示屏自動光學檢測儀器的隔振系統(tǒng)進行了設計。主要研究內(nèi)容包括：針對本文的雙層隔振系統(tǒng),采用四端參數(shù)法進行理論建模分析,建立了矢量四端網(wǎng)絡參數(shù)模型。依據(jù)隔振原理,在Adams中建立精密光學檢測儀器雙層隔振系統(tǒng)模型,分析了單層隔振系統(tǒng),與雙層隔振系統(tǒng)對儀器設備隔振效果的影響；研究了雙層隔振系統(tǒng)中隔振器的安裝位置,隔振器剛度,基礎板厚度,隔振器形狀,以及中間質(zhì)量和上層機械設備的質(zhì)量比對隔振效果的影響；在理論研究基礎上對平板顯示屏自動光學檢測儀器原理樣機的隔振系統(tǒng)進行了優(yōu)化設計。經(jīng)過對研制的平板顯示屏自動光學檢測儀器原理樣機測試,達到了預期隔振要求。本文在雙層隔振系統(tǒng)的參數(shù)優(yōu)化和設計方面的研究成果對于大型精密檢測儀器的隔振系統(tǒng)設計具有一定的參考價值。
【關鍵詞】：隔振 雙層隔振系統(tǒng) 四端參數(shù)法 Adams仿真分析
【學位授予單位】：合肥工業(yè)大學
【學位級別】：碩士
【學位授予年份】：2016
【分類號】：TB535.1
【目錄】：

• 致謝7-8
• 摘要8-9
• ABSTRACT9-14
• 第一章 緒論14-22
• 1.1 課題研究背景、內(nèi)容及意義14-15
• 1.2 國內(nèi)外的研究歷程和現(xiàn)狀15-20
• 1.2.1 隔振系統(tǒng)的發(fā)展15-19
• 1.2.2 隔振器的研究19-20
• 1.3 本文主要內(nèi)容20-22
• 第二章 雙層隔振系統(tǒng)的建模及分析方法22-34
• 2.1 雙層隔振系統(tǒng)的建模方法分析22-25
• 2.2 雙層隔振系統(tǒng)的理論建模25-30
• 2.3 雙層隔振系統(tǒng)振動傳遞的計算30-31
• 2.4 實際計算分析31-34
• 第三章 雙層隔振系統(tǒng)的仿真研究和討論34-47
• 3.1 隔振系統(tǒng)模型設計34-35
• 3.2 隔振系統(tǒng)的仿真模型簡化35-37
• 3.3 隔振系統(tǒng)模型優(yōu)化37-45
• 3.3.1 單層隔振系統(tǒng)和雙層隔振系統(tǒng)的影響37-39
• 3.3.2 隔振器是否對稱安裝的影響39-40
• 3.3.3 隔振器剛度的影響40-42
• 3.3.4 隔振器形狀的影響42-43
• 3.3.5 基礎板厚度的影響43-44
• 3.3.6 中間質(zhì)量與上層機械設備質(zhì)量的質(zhì)量比影響44-45
• 3.4 隔振系統(tǒng)模型優(yōu)化結果45-47
• 第四章 隔振系統(tǒng)的設計47-52
• 4.1 隔振系統(tǒng)的結構設計47
• 4.2 隔振器的選擇和布置47-52
• 4.2.1 隔振器的布置48
• 4.2.2 隔振器的選取48-52
• 第五章 隔振系統(tǒng)的試驗驗證52-55
• 5.1 試驗系統(tǒng)52-53
• 5.2 試驗結果53-55
• 第六章 總結和展望55-57
• 6.1 總結55
• 6.2 展望55-57
• 參考文獻57-62
• 攻讀碩士學位期間的學術活動及成果情況62

【參考文獻】

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本文編號：519878