該文設(shè)計了一種新型叉指型電極(IDE)結(jié)構(gòu)形式的螺旋電極壓電扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器,推導(dǎo)并建立了螺旋電極平面有效電極區(qū)域內(nèi)點的應(yīng)變理論方程。利用ABAQUS對該理論方程進(jìn)行驗證,并著重研究了電壓、徑向尺寸、圓盤厚度對該壓電驅(qū)動器應(yīng)變的影響。結(jié)果表明,螺旋電極壓電扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器能夠產(chǎn)生較大的切向應(yīng)變和徑向應(yīng)變輸出;增大電壓,減小壓電圓盤徑向尺寸和壓電圓盤厚度,有利于提高驅(qū)動器的驅(qū)動性能;在螺旋角、壓電圓盤徑向尺寸和電壓一定時,螺旋電極壓電扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器的切向應(yīng)變達(dá)到普通電極型的17.5倍,徑向應(yīng)變是普通電極型的1.6倍。

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圖1螺旋電極壓電扭轉(zhuǎn)驅(qū)動器結(jié)構(gòu)圖

圖2普通電極型壓電驅(qū)動器結(jié)構(gòu)簡圖

圖3局部電極線結(jié)構(gòu)坐標(biāo)系

圖4電極間隔電場分布

本文編號：3886106