透明導(dǎo)電氧化物(TCO)薄膜以其優(yōu)異的光電性能被廣泛應(yīng)用于各行各業(yè),在薄膜太陽(yáng)能電池這一方面尤為突出。隨著薄膜太陽(yáng)能電池的飛速發(fā)展,對(duì)于具有高透光且導(dǎo)電性能優(yōu)良薄膜的實(shí)際需求日益激增,許多研究人員把目光集中到具有優(yōu)異光電性能的新型薄膜制備上。現(xiàn)有對(duì)于這類(lèi)薄膜的制備方法大多比較復(fù)雜或者是缺乏對(duì)于薄膜性能的系統(tǒng)化分析研究,而關(guān)于TCO薄膜表面抗反射層/結(jié)構(gòu)的制備及其光電性能研究卻鮮有報(bào)道。基于此,本文提出通過(guò)激光處理?yè)椒趸a(FTO)和摻鋁氧化鋅(AZO)薄膜并結(jié)合鍍膜工藝,在薄膜表面制備出抗反射層/結(jié)構(gòu),系統(tǒng)研究了制備方法、相關(guān)機(jī)理以及沉積膜層厚度和激光參數(shù)對(duì)薄膜光電性能的影響,獲得了一些具有意義的研究結(jié)果。1、采用532 nm納秒脈沖激光對(duì)沉積AZO驅(qū)動(dòng)層以及Ag膜層的網(wǎng)格FTO薄膜進(jìn)行激光去除,在固定激光參數(shù)的條件下,系統(tǒng)研究了AZO驅(qū)動(dòng)層以及Ag層厚度對(duì)薄膜樣品表面形貌、晶體結(jié)構(gòu)以及光電性能的影響,并對(duì)AZO驅(qū)動(dòng)層機(jī)理和Ag納米粒子(Ag NPs)抗反射效果進(jìn)行了探討分析。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,不同AZO驅(qū)動(dòng)層和Ag層厚度會(huì)使薄膜表面槽內(nèi)形成不同尺寸和不同分布規(guī)律的Ag NPs,這些A...

【文章頁(yè)數(shù)】：86 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 透明導(dǎo)電氧化物薄膜的概述
        1.2.1 透明導(dǎo)電氧化物薄膜的發(fā)展歷史
        1.2.2 透明導(dǎo)電薄膜的分類(lèi)
    1.3 抗反射層/結(jié)構(gòu)的作用
    1.4 抗反射層/結(jié)構(gòu)的制備方法
        1.4.1 電化學(xué)沉積法
        1.4.2 噴涂/旋涂法
        1.4.3 激光誘導(dǎo)法
        1.4.4 光刻法
    1.5 本論文的研究意義和主要研究?jī)?nèi)容
        1.5.1 論文研究意義
        1.5.2 論文主要研究?jī)?nèi)容
第二章 實(shí)驗(yàn)材料、設(shè)備和表征測(cè)試
    2.1 實(shí)驗(yàn)材料與設(shè)備
        2.1.1 實(shí)驗(yàn)材料
        2.1.2 主要實(shí)驗(yàn)設(shè)備
    2.2 主要表征和測(cè)試設(shè)備
        2.2.1 結(jié)構(gòu)和形貌表征
        2.2.2 性能測(cè)試
第三章 FTO薄膜表面抗反射Ag納米粒子的制備及其光電性能研究
    3.1 引言
    3.2 實(shí)驗(yàn)部分
    3.3 結(jié)果與討論
        3.3.1 表面形貌和成分組成分析
        3.3.2 AZO驅(qū)動(dòng)層機(jī)理分析
        3.3.3 晶體結(jié)構(gòu)分析
        3.3.4 透射光譜分析
        3.3.5 反射光譜分析
        3.3.6 電學(xué)性能分析
        3.3.7 綜合光電性能分析
    3.4 本章小結(jié)
第四章 AZO薄膜表面激光刻蝕單向光柵抗反射結(jié)構(gòu)及其光電性能研究
    4.1 引言
    4.2 實(shí)驗(yàn)部分
        4.2.1 AZO薄膜樣品的預(yù)處理
        4.2.2 AZO薄膜表面刻蝕光柵結(jié)構(gòu)的制備及參數(shù)選擇
    4.3 結(jié)果與討論
        4.3.1 激光刻蝕光柵結(jié)構(gòu)離焦量的選擇
        4.3.2 激光刻蝕光柵結(jié)構(gòu)掃描速度的選擇
        4.3.3 線間距對(duì)刻蝕光柵結(jié)構(gòu)的影響
        4.3.4 能量密度對(duì)刻蝕光柵結(jié)構(gòu)的影響
    4.4 本章小結(jié)
第五章 AZO薄膜表面激光刻蝕雙向光柵抗反射結(jié)構(gòu)及其光電性能研究
    5.1 引言
    5.2 實(shí)驗(yàn)部分
    5.3 結(jié)果與討論
        5.3.1 表面形貌對(duì)比分析
        5.3.2 晶體結(jié)構(gòu)對(duì)比分析
        5.3.3 透射光譜對(duì)比分析
        5.3.4 反射光譜對(duì)比分析
        5.3.5 電學(xué)性能對(duì)比分析
        5.3.6 綜合光電性能對(duì)比分析
    5.4 本章小結(jié)
第六章 總結(jié)與展望
    6.1 工作總結(jié)
    6.2 工作創(chuàng)新點(diǎn)
    6.3 工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
碩士期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文和專(zhuān)利
碩士期間參與的科研項(xiàng)目



本文編號(hào)：3823694