隨著國(guó)際單位制向量子化轉(zhuǎn)變,基于光學(xué)方法的真空計(jì)量技術(shù)成為該領(lǐng)域的研究熱點(diǎn),最具代表性的是基于Fabry-Perot光學(xué)干涉腔的真空計(jì)量方法。介紹了該方法的測(cè)量原理,并對(duì)以美國(guó)NIST、瑞典Ume?和日本AIST等為代表的計(jì)量機(jī)構(gòu)的研究進(jìn)展進(jìn)行了簡(jiǎn)要概述。介紹了本課題組研制的1臺(tái)基于Fabry-Perot光學(xué)腔的真空計(jì)量裝置的結(jié)構(gòu)組成,給出了干涉腔精細(xì)度、溫度穩(wěn)定性和激光頻率穩(wěn)定性測(cè)試結(jié)果,表明,基于Fabry-Perot光學(xué)干涉腔的真空計(jì)量方法具有高靈敏度和可靠性,可有效促進(jìn)我國(guó)真空計(jì)量技術(shù)向量子化轉(zhuǎn)變,具有良好的應(yīng)用前景。

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【文章目錄】：
0 引言
1 實(shí)驗(yàn)裝置及計(jì)算原理
2 實(shí)驗(yàn)測(cè)試
    2.1 光學(xué)干涉腔精細(xì)度測(cè)試
    2.2 穩(wěn)定性測(cè)試
        2.2.1 激光頻率穩(wěn)定性測(cè)試
        2.2.2 溫度穩(wěn)定性測(cè)試
3 結(jié)論與展望



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