發(fā)布時間：2023-03-26 18:54

　　金屬網(wǎng)格型透明電極具有導(dǎo)電性好、透光率高、可撓曲性好、原材料易于獲取等優(yōu)勢,被廣泛應(yīng)用于觸摸屏、太陽能電池、液晶顯示器、有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)等器件。隨著對綜合光電性能更加優(yōu)異的金屬網(wǎng)格型透明電極需求的不斷增加,人們對制備方法不斷進(jìn)行升級創(chuàng)新�，F(xiàn)有制備金屬網(wǎng)格型透明電極的方法或多或少地存在著一些問題,而關(guān)于利用激光定域去除制備形狀可調(diào)的金屬網(wǎng)格型透明電極的研究卻鮮有報道�；诖�,本文提出利用激光定域去除(即選擇性激光燒蝕)制備金屬網(wǎng)格型透明電極,研究了激光定域去除參數(shù)和網(wǎng)格陣列參數(shù)對金屬網(wǎng)格型透明電極的制備與性能的影響,獲得了部分有意義的結(jié)果。1、采用532 nm納秒脈沖激光對通過磁控濺射技術(shù)沉積在玻璃基底上的Ag薄膜進(jìn)行激光燒蝕去除,在單次和多次掃描條件下,系統(tǒng)性地研究了不同激光能量密度和離焦量組合對100 nm厚Ag薄膜上激光燒蝕凹槽寬度和深度的影響以及掃描次數(shù)對600 nm厚Ag薄膜上激光燒蝕凹槽寬度和深度的影響,并探討了激光燒蝕去除的機(jī)理。結(jié)果表明,根據(jù)輻照在Ag薄膜表面單位面積激光能量的不同,去除機(jī)制主要可分為激光誘導(dǎo)熱彈力去除和薄膜材料的汽化去除,激光誘導(dǎo)熱彈力去除主要...

【文章頁數(shù)】：84 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第一章 緒論
    1.1 引言
    1.2 透明電極的分類及特點
        1.2.1 金屬氧化物基透明電極
        1.2.2 碳基透明電極
        1.2.3 納米銀線型透明電極
        1.2.4 金屬網(wǎng)格型透明電極
    1.3 金屬網(wǎng)格型透明電極的制備方法
        1.3.1 光刻法
        1.3.2 納米壓印法
        1.3.3 噴墨印刷法
        1.3.4 模板法
        1.3.5 流涂法
        1.3.6 激光直寫法
    1.4 本論文的意義和主要研究內(nèi)容
        1.4.1 論文的研究意義
        1.4.2 主要研究內(nèi)容
第二章 激光去除寬度與深度的控制研究
    2.1 引言
    2.2 實驗部分
        2.2.1 實驗材料
        2.2.2 Ag薄膜/玻璃樣品的制備
        2.2.3 激光定域去除系統(tǒng)
        2.2.4 樣品的表征和測試
    2.3 結(jié)果與討論
        2.3.1 單次掃描對激光燒蝕凹槽寬度和深度的影響
        2.3.2 單次/多次掃描對激光燒蝕凹槽寬度和深度的影響
    2.4 本章小結(jié)
第三章 激光去除區(qū)域邊緣質(zhì)量的優(yōu)化研究
    3.1 引言
    3.2 實驗部分
        3.2.1 Ag薄膜/玻璃樣品的制備
        3.2.2 激光定域去除系統(tǒng)
        3.2.3 激光掃描方式示意圖
        3.2.4 樣品的表征與測試
    3.3 結(jié)果與討論
        3.3.1 掃描速度對激光燒蝕凹槽邊緣質(zhì)量的影響
        3.3.2 掃描間隔對激光燒蝕圖案邊緣質(zhì)量的影響
        3.3.3 掃描方式對激光燒蝕圖案邊緣質(zhì)量和透光率的影響
    3.4 本章小結(jié)
第四章 Ag網(wǎng)格型透明電極的制備及性能研究
    4.1 引言
    4.2 實驗部分
        4.2.1 Ag薄膜/玻璃樣品的制備
        4.2.2 激光定域去除制備Ag網(wǎng)格陣列示意圖
        4.2.3 樣品的表征與測試
    4.3 結(jié)果與討論
        4.3.1 網(wǎng)格高度對Ag網(wǎng)格型透明電極形貌和光電性能的影響
        4.3.2 網(wǎng)格間隔對Ag網(wǎng)格型透明電極形貌和光電性能的影響
        4.3.3 網(wǎng)格線寬對Ag網(wǎng)格型透明電極形貌和光電性能的影響
        4.3.4 掃描方式對Ag網(wǎng)格型透明電極形貌和光電性能的影響
    4.4 本章小結(jié)
第五章 總結(jié)與展望
    5.1 工作總結(jié)
    5.2 工作創(chuàng)新點
    5.3 工作展望
參考文獻(xiàn)
致謝
碩士期間發(fā)表的學(xué)術(shù)論文和專利
碩士期間參與的科研項目



本文編號：3771515