通過(guò)等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù),以不同沉積時(shí)間在硅表面上制備類(lèi)富勒烯碳薄膜,探究類(lèi)富勒烯碳薄膜結(jié)構(gòu)演變和摩擦學(xué)性能隨沉積時(shí)間變化規(guī)律。利用拉曼光譜和透射電子顯微鏡,考察類(lèi)富勒烯碳薄膜微結(jié)構(gòu)和表面形貌隨沉積時(shí)間的變化。結(jié)果表明:碳薄膜內(nèi)類(lèi)富勒烯結(jié)構(gòu)含量隨沉積時(shí)間先增加后保持不變;采用沉積時(shí)間為3 h的類(lèi)富勒烯碳薄膜組成摩擦配伍對(duì),當(dāng)載荷從8 N增加到14 N時(shí),摩擦因數(shù)從0.013降至0.006,即隨載荷的增加實(shí)現(xiàn)了由低摩擦向超滑的轉(zhuǎn)變。這是因?yàn)槟Σ琳T使類(lèi)富勒烯碳薄膜發(fā)生結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)變,并形成有利于減少摩擦的類(lèi)球狀或外部石墨殼層閉合的納米顆粒。 

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【文章目錄】：
1 試驗(yàn)與方法
2 結(jié)果與討論
    2.1 類(lèi)富勒烯碳薄膜的TEM結(jié)果
    2.2 類(lèi)富勒烯碳薄膜的Raman分析
    2.3 類(lèi)富勒烯碳薄膜的摩擦學(xué)性能
    2.4 類(lèi)富勒烯碳薄膜低摩擦機(jī)制分析
3 結(jié)論
    (1)考察不同沉積時(shí)間下硅片表面制備類(lèi)富勒烯碳薄膜微結(jié)構(gòu)、表面形貌。
    (2)考察采用沉積時(shí)間為3h硅基底薄膜與2 h和3 h鍍膜鋼球組成摩擦配伍對(duì)的摩擦學(xué)性能。



本文編號(hào)：3714026