通過等離子體增強化學氣相沉積技術,以不同沉積時間在硅表面上制備類富勒烯碳薄膜,探究類富勒烯碳薄膜結構演變和摩擦學性能隨沉積時間變化規(guī)律。利用拉曼光譜和透射電子顯微鏡,考察類富勒烯碳薄膜微結構和表面形貌隨沉積時間的變化。結果表明:碳薄膜內類富勒烯結構含量隨沉積時間先增加后保持不變;采用沉積時間為3 h的類富勒烯碳薄膜組成摩擦配伍對,當載荷從8 N增加到14 N時,摩擦因數(shù)從0.013降至0.006,即隨載荷的增加實現(xiàn)了由低摩擦向超滑的轉變。這是因為摩擦誘使類富勒烯碳薄膜發(fā)生結構轉變,并形成有利于減少摩擦的類球狀或外部石墨殼層閉合的納米顆粒。 

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【文章目錄】：
1 試驗與方法
2 結果與討論
    2.1 類富勒烯碳薄膜的TEM結果
    2.2 類富勒烯碳薄膜的Raman分析
    2.3 類富勒烯碳薄膜的摩擦學性能
    2.4 類富勒烯碳薄膜低摩擦機制分析
3 結論
    (1)考察不同沉積時間下硅片表面制備類富勒烯碳薄膜微結構、表面形貌。
    (2)考察采用沉積時間為3h硅基底薄膜與2 h和3 h鍍膜鋼球組成摩擦配伍對的摩擦學性能。



本文編號：3714026