鈣鈦礦型復(fù)合氧化物擁有獨(dú)特的晶體結(jié)構(gòu)和電子相,可以應(yīng)用于傳感器、固態(tài)電阻器、光電探測(cè)器等功能性半導(dǎo)體器件中。鈷氧化物薄膜材料的物理特性與基片的不匹配度、薄膜厚度等界面應(yīng)力因素引起的晶格畸變有很大的關(guān)系,因此本文制備了不同基底、厚度的系列鈷氧化物超薄膜樣品,對(duì)樣品的基本結(jié)構(gòu)、輸運(yùn)特性及光誘導(dǎo)電阻變化特性進(jìn)行了研究,主要結(jié)論如下:（1）通過(guò)脈沖激光沉積法制備了厚度約為20nm的La0.7Sr003Co03/LaA103（100）、La00.7Sr0.3CoO3/LaAlO3（110）、La0.7Sr003CoO3/LaAlO3（111）、La0.7Sr0.3CoO3/Si（100）、La0.7Sr003CoO3/NdGaO3（100）,厚度為 lOnm、50nm的La0.7Sr0.3CoO3/LaAlO3（100）超薄膜樣品。XRD衍射圖譜表明薄膜樣品均單相外延生長(zhǎng);室溫下的磁性測(cè)試表明:La0.7Sr0.3CoO3/LaAlO3（100）、La007Sr03CoO3/LaAlO3（110）、La0.77Sr0.3CoO3/LaAlO3（111）、La007Sr003CoO3/Si（100... 

【文章頁(yè)數(shù)】：69 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
abstract
1 緒論
    1.1 引言
    1.2 鈣鈦礦鈷氧化物的物理特性
        1.2.1 晶體結(jié)構(gòu)
        1.2.2 電子結(jié)構(gòu)
    1.3 La_(1-x)Sr_xCoO_3薄膜輸運(yùn)及磁特性
    1.4 鈷氧化物電子間交換作用
        1.4.1 雙交換作用
        1.4.2 超交換作用
    1.5 鈣鈦礦型氧化物超薄膜研究進(jìn)展與現(xiàn)狀
    1.6 本論文的選題依據(jù)、研究?jī)?nèi)容
        1.6.1 選題依據(jù)
        1.6.2 研究?jī)?nèi)容
    1.7 本章小結(jié)
2 超薄膜的制備及性能表征技術(shù)
    2.1 引言
    2.2 靶材的制備
        2.2.1 固相反應(yīng)法
        2.2.2 溶膠凝膠法
    2.3 薄膜制備工藝及基本原理
        2.3.1 脈沖激光法
        2.3.2 激光分子束外延技術(shù)
    2.4 薄膜樣品的表征技術(shù)及原理
        2.4.1 樣品的形貌分析原理
        2.4.2 靶材及樣品的結(jié)構(gòu)分析原理
    2.5 磁性測(cè)量
    2.6 樣品低溫輸運(yùn)及光電特性測(cè)量
    2.7 本章小結(jié)
3 LaAlO_3 (100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的制備及性能研究
    3.1 引言
    3.2 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的制備
        3.2.1 La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3靶材
        3.2.2 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的制備
    3.3 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的基本性能測(cè)試
        3.3.1 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的表面形貌
        3.3.2 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的XRD圖譜
        3.3.3 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的磁性測(cè)試
    3.4 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的輸運(yùn)特性
    3.5 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的光誘導(dǎo)特性
    3.6 LaAlO_3(100)、(110)、(111)基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的瞬態(tài)光開關(guān)效應(yīng)
    3.7 本章小結(jié)
4 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的性能研究
    4.1 引言
    4.2 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的制備
    4.3 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的基本性能測(cè)試
        4.3.1 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的表面形貌
        4.3.2 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的XRD圖譜
        4.3.3 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的磁性測(cè)試
    4.4 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的輸運(yùn)特性
    4.5 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的光誘導(dǎo)特性
    4.6 不同厚度La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的瞬態(tài)光開關(guān)效應(yīng)
    4.7 本章小結(jié)
5 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的性能研究
    5.1 引言
    5.2 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的制備
    5.3 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的基本性能測(cè)試
        5.3.1 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的表面形貌
        5.3.2 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的XRD圖譜
        5.3.3 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的磁性測(cè)試
    5.4 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的輸運(yùn)特性
    5.5 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的光誘導(dǎo)特性
    5.6 NdGaO_3、Si、LaAlO_3基片上La_(0.7)Sr_(0.3)CoO_3超薄膜的瞬態(tài)光開關(guān)效應(yīng)
    5.7 本章小結(jié)
6 總結(jié)與展望
    6.1 總結(jié)
    6.2 展望
致謝
參考文獻(xiàn)
附錄


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3678263