為獲得薄膜金屬玻璃在可見-近紅外波段的光學(xué)常數(shù),采用真空磁控濺射技術(shù)在Si基底上制備Zr基（ZrCuNiAl（64.13∶15.75∶10.12∶10%at））薄膜金屬玻璃.使用橢圓偏振光譜儀測量了樣品在三個不同入射角的橢偏參數(shù),并用Drude-Lorentz雙振子模型對測出的橢偏參數(shù)進行擬合,得到薄膜在可見-近紅外波段的光學(xué)常數(shù)與膜厚.用掠入射X射線反射法進一步測量樣品的膜厚以驗證橢圓偏振光譜儀測量結(jié)果的可靠性.結(jié)果表明,兩種方法測出的樣品膜厚一致,Drude-Lorentz雙振子模型很好地描述了Zr基薄膜金屬玻璃樣品在可見-近紅外波段的光學(xué)特性.在可見-近紅外波段,樣品在同一波長的橢偏參數(shù)Ψ和Δ隨入射角增大而減小,介電常數(shù)實部為負值且隨波長增大而減小,介電常數(shù)虛部為正值且隨波長增大而增大;樣品折射率明顯小于消光系數(shù),且折射率在1 070 nm處出現(xiàn)極大值,消光系數(shù)則在1 070 nm附近出現(xiàn)拐點,表明金屬玻璃兼具一般金屬和玻璃的光學(xué)性能.本文研究結(jié)果對Zr基及其它薄膜金屬玻璃光學(xué)特性的研究和測量具有一定指導(dǎo)作用. 

【文章來源】：光子學(xué)報. 2020,49(10)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 測量原理
2 樣品制備
3 結(jié)果與討論
    3.1 橢圓偏振光譜儀測試
    3.2 掠入射X射線反射法測試
4 結(jié)論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]橢圓偏振法測定在線Low-E玻璃的可見-近紅外光學(xué)常數(shù)與膜厚[J]. 紀貝,黃水平,周駿.  光子學(xué)報. 2015(05)



本文編號：3639204