為獲得薄膜金屬玻璃在可見-近紅外波段的光學常數(shù),采用真空磁控濺射技術在Si基底上制備Zr基（ZrCuNiAl（64.13∶15.75∶10.12∶10%at））薄膜金屬玻璃.使用橢圓偏振光譜儀測量了樣品在三個不同入射角的橢偏參數(shù),并用Drude-Lorentz雙振子模型對測出的橢偏參數(shù)進行擬合,得到薄膜在可見-近紅外波段的光學常數(shù)與膜厚.用掠入射X射線反射法進一步測量樣品的膜厚以驗證橢圓偏振光譜儀測量結果的可靠性.結果表明,兩種方法測出的樣品膜厚一致,Drude-Lorentz雙振子模型很好地描述了Zr基薄膜金屬玻璃樣品在可見-近紅外波段的光學特性.在可見-近紅外波段,樣品在同一波長的橢偏參數(shù)Ψ和Δ隨入射角增大而減小,介電常數(shù)實部為負值且隨波長增大而減小,介電常數(shù)虛部為正值且隨波長增大而增大;樣品折射率明顯小于消光系數(shù),且折射率在1 070 nm處出現(xiàn)極大值,消光系數(shù)則在1 070 nm附近出現(xiàn)拐點,表明金屬玻璃兼具一般金屬和玻璃的光學性能.本文研究結果對Zr基及其它薄膜金屬玻璃光學特性的研究和測量具有一定指導作用. 

【文章來源】：光子學報. 2020,49(10)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
0 引言
1 測量原理
2 樣品制備
3 結果與討論
    3.1 橢圓偏振光譜儀測試
    3.2 掠入射X射線反射法測試
4 結論


【參考文獻】：
期刊論文
[1]橢圓偏振法測定在線Low-E玻璃的可見-近紅外光學常數(shù)與膜厚[J]. 紀貝,黃水平,周駿.  光子學報. 2015(05)



本文編號：3639204