VO₂薄膜具有良好的熱致相變特性,在68℃附近發(fā)生絕緣-金屬態(tài)轉(zhuǎn)變（MIT）,并伴隨著結(jié)構(gòu)、光學(xué)、電學(xué)和磁學(xué)等性質(zhì)的突變,因其在高低溫環(huán)境下顯著的紅外調(diào)控效果引起了廣大研究者的高度重視,在智能窗領(lǐng)域有很好的應(yīng)用前景。但要完成VO₂薄膜在該領(lǐng)域的成功應(yīng)用需要解決低溫沉積、降低相變溫度、提高可見(jiàn)光透射率及薄膜顏色與環(huán)境色調(diào)匹配等問(wèn)題。本文針對(duì)直流反應(yīng)磁控濺射制備智能窗領(lǐng)域應(yīng)用的VO₂薄膜,采用等離子體輻照后處理技術(shù),研究降低相變溫度和提高可見(jiàn)光透射率的等離子體處理參數(shù)。通過(guò)直流反應(yīng)磁控濺射法在鈉鈣玻璃基底上制備完成VO₂薄膜樣品。利用Ar/O2等離子體對(duì)VO₂薄膜進(jìn)行表面輻照,分別改變等離子體輻照相關(guān)參數(shù)研究其對(duì)VO₂薄膜光電特性的影響變化趨勢(shì),研究?jī)?nèi)容包括:（1）研究了 Ar/O2混合等離子體處理輻照功率對(duì)VO₂薄膜光電特性影響。在氬氧比為100:50的等離子體中,分別在不同功率密度（0-550W）下對(duì)VO₂薄膜表... 

【文章來(lái)源】：深圳大學(xué)廣東省

【文章頁(yè)數(shù)】：66 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【圖文】：

離子去膠機(jī)及操作原理圖

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]引領(lǐng)建筑業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)的新坐標(biāo)[J]. 王全逵,任學(xué)勇,胡杭.  施工企業(yè)管理. 2015(05)
[2]二氧化釩薄膜的研究進(jìn)展[J]. 張華,肖秀娣,徐剛,柴冠麒,楊濤.  材料導(dǎo)報(bào). 2014(13)
[3]半鋼化真空玻璃——高效節(jié)能玻璃研發(fā)的新突破[J]. 唐健正,李洋,李楠.  真空. 2010(04)
[4]介質(zhì)阻擋放電等離子體特性及其在化工中的應(yīng)用[J]. 楊寬輝,王保偉,許根慧.  化工學(xué)報(bào). 2007(07)
[5]電子束輻照煙氣脫硫脫硝技術(shù)及模型模擬[J]. 任志凌,楊睿戇,毛本將.  電力環(huán)境保護(hù). 2007(03)
[6]淺談分光光度法和分光光度計(jì)的原理及其應(yīng)用[J]. 范以輝,惠煥強(qiáng).  計(jì)量與測(cè)試技術(shù). 2006(12)
[7]還原五氧化二釩制備二氧化釩粉末[J]. 徐燦陽(yáng),龐明杰,原晨光,陳志剛,潘頤.  材料科學(xué)與工程學(xué)報(bào). 2006(02)
[8]Fe/Cr磁性多層膜的制備及其磁電阻測(cè)定[J]. 令狐榮鋒,梁冰青,周勛,王蔭君.  物理實(shí)驗(yàn). 2005(06)
[9]我國(guó)建筑耗能狀況及有效的節(jié)能途徑[J]. 江億.  暖通空調(diào). 2005(05)
[10]低輻射鍍膜玻璃在建筑節(jié)能中的優(yōu)勢(shì)[J]. 魯大學(xué).  建設(shè)科技. 2003(12)

碩士論文
[1]Sn摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜的制備與性能研究[D]. 諶夏.重慶理工大學(xué) 2012
[2]電子束輻照處理甲苯廢氣研究[D]. 褚海林.中國(guó)工程物理研究院 2006



本文編號(hào)：3588290