本文介紹了應(yīng)用混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD）制備MgB₂薄膜技術(shù),以B膜作為勢壘層在單晶Al₂O₃（0001）基底上制作了縱向三明治結(jié)構(gòu)的MgB₂/B/MgB₂多層膜.采用掃描電子顯微鏡（SEM）、原子力顯微鏡（AFM）、X射線衍射（XRD）和標準四線法對獲得的MgB₂/B/MgB₂多層膜斷面結(jié)構(gòu)、超導(dǎo)薄膜晶體結(jié)構(gòu)及超導(dǎo)特性進行了測量研究.實驗結(jié)果表明,制備的MgB₂/B/MgB₂多層膜結(jié)構(gòu)清晰,底層和頂層超導(dǎo)薄膜顯示出良好的超導(dǎo)特性.

【文章來源】： 低溫物理學(xué)報. 2016,38(05)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：5 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 實驗過程
3 結(jié)果分析與討論
4 結(jié)論



本文編號：3529419