還原氮化法制備氮化鈮薄膜及性能研究
發(fā)布時間:2021-09-12 17:54
以五氯化鈮為原料,采用氨氣還原氮化法制備出Nb4N5薄膜。利用XRD、SEM、UV-VIS-NIR和RAMAN測試手段研究了薄膜組成、形貌和表面增強(qiáng)拉曼光譜性能。結(jié)果表明,薄膜中Nb4N5的結(jié)晶程度高,物相較純沒有出現(xiàn)其他的雜質(zhì),薄膜表面裂紋較少,顆粒粒徑40 nm,膜厚210 nm,所合成的Nb4N5薄膜吸收光譜中在300~500 nm出現(xiàn)了等離子體共振吸收峰,紅外區(qū)域反射率高于30%,薄膜方塊電阻為552Ω/□,并具有較好的SERS活性。
【文章來源】:江蘇陶瓷. 2020,53(04)
【文章頁數(shù)】:4 頁
【部分圖文】:
Nb4N5薄膜的XRD圖譜
Nb4N5薄膜的SEM照片
Nb4N5薄膜的紫外-可見-近紅外光譜(a)-(c)和拉曼光譜(d)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]不同濺射條件對超薄外延氮化鈮薄膜超導(dǎo)性能的影響[J]. 汪瀟涵,何倩眉,蘆政,金韜,鄭分剛,熊杰,鄒貴付. 科學(xué)通報. 2019(20)
[2]NbSiN薄膜的制備及光學(xué)性能研究[J]. 張易君,張粞程,欒明昱,曾陶,黃佳木. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017(03)
[3]不同沉積溫度下V摻雜的TiN薄膜的結(jié)構(gòu)和性能[J]. 吳玲,趙高凌,段鋼鋒,汪建勛,韓高榮. 功能材料. 2011(04)
[4]Sol-gel法制備鐵電陶瓷厚膜的研究[J]. 馮博楷,范素華,張豐慶,張偉,馬建平. 材料導(dǎo)報. 2007(11)
[5]沉積溫度對NbN膜層微觀結(jié)構(gòu)的影響[J]. 宋教花,張濤,侯君達(dá),鄧志威,李永良,馬芙蓉. 北京師范大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2001(01)
博士論文
[1]NbC和NbN基薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦學(xué)行為的研究[D]. 張侃.吉林大學(xué) 2014
本文編號:3394676
【文章來源】:江蘇陶瓷. 2020,53(04)
【文章頁數(shù)】:4 頁
【部分圖文】:
Nb4N5薄膜的XRD圖譜
Nb4N5薄膜的SEM照片
Nb4N5薄膜的紫外-可見-近紅外光譜(a)-(c)和拉曼光譜(d)
【參考文獻(xiàn)】:
期刊論文
[1]不同濺射條件對超薄外延氮化鈮薄膜超導(dǎo)性能的影響[J]. 汪瀟涵,何倩眉,蘆政,金韜,鄭分剛,熊杰,鄒貴付. 科學(xué)通報. 2019(20)
[2]NbSiN薄膜的制備及光學(xué)性能研究[J]. 張易君,張粞程,欒明昱,曾陶,黃佳木. 激光與光電子學(xué)進(jìn)展. 2017(03)
[3]不同沉積溫度下V摻雜的TiN薄膜的結(jié)構(gòu)和性能[J]. 吳玲,趙高凌,段鋼鋒,汪建勛,韓高榮. 功能材料. 2011(04)
[4]Sol-gel法制備鐵電陶瓷厚膜的研究[J]. 馮博楷,范素華,張豐慶,張偉,馬建平. 材料導(dǎo)報. 2007(11)
[5]沉積溫度對NbN膜層微觀結(jié)構(gòu)的影響[J]. 宋教花,張濤,侯君達(dá),鄧志威,李永良,馬芙蓉. 北京師范大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版). 2001(01)
博士論文
[1]NbC和NbN基薄膜的微觀結(jié)構(gòu)、力學(xué)性能和摩擦學(xué)行為的研究[D]. 張侃.吉林大學(xué) 2014
本文編號:3394676
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