發(fā)布時間：2021-08-26 03:16

　　熱流逸真空泵利用其內(nèi)部微通道結(jié)構(gòu)產(chǎn)生的熱流逸效應(yīng)來工作,故其本身也存在流導(dǎo)。本文建立了幾種典型截面形狀長微通道和短微通道的流導(dǎo)計算模型,進而分析了流導(dǎo)隨努森數(shù)、溫差及微通道特征尺寸變化的規(guī)律。結(jié)果表明,微通道在過渡流區(qū)域的流導(dǎo)比在自由分子流區(qū)域的大2～4個數(shù)量級;短微通道的流導(dǎo)性能優(yōu)異長微通道的;絕大多數(shù)情況下,截面形狀的對稱性越強則其流導(dǎo)性能越好;在自由分子流區(qū)域,截面形狀對流導(dǎo)的影響不大,但在過渡流區(qū)域,不同截面形狀的流導(dǎo)差異顯著。可見,應(yīng)盡可能將熱流逸真空泵設(shè)計在過渡流區(qū)域工作,且應(yīng)優(yōu)先采用截面形狀對稱性強的短微通道結(jié)構(gòu),但需要綜合考慮努森數(shù)、溫差和微通道特征尺寸之間的相互協(xié)同與制約。 

【文章來源】：真空科學(xué)與技術(shù)學(xué)報. 2020,40(05)北大核心CSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 熱流逸真空泵中微通道的流導(dǎo)
    1.1 熱流逸真空泵模型
    1.2 熱流逸真空泵內(nèi)微通道流導(dǎo)的數(shù)學(xué)模型
        1.2.1 長微通道
            (1)自由分子流區(qū)域
            (2)過渡流區(qū)域
        1.2.2 短微通道
2 熱流逸效應(yīng)下不同截面形狀微通道的流導(dǎo)特性分析
    2.1 努森數(shù)對流導(dǎo)的影響
    2.2 溫差對流導(dǎo)的影響
    2.3 微通道特征尺寸對流導(dǎo)的影響
3 結(jié)論



本文編號：3363430