隨著科學技術的發(fā)展,智能化設備的不斷更新?lián)Q代,人們對透明導電膜（TCO）性能的要求原來越高,單層結(jié)構(gòu)的透明導電膜（ITO、AZO等）以其較低的導電性能早已不能滿足生產(chǎn)需求。而對TCO復合膜的研究大多局限在對于中間功能層及兩側(cè)介質(zhì)層材料的選擇搭配及介質(zhì)層材料摻雜比例的調(diào)整、濺射參數(shù)的調(diào)整、沉積條件的改變等方面。近年來,人們對TCO復合膜的研究還沒有突破性進展,其光電性能提高不多,TCO復合膜的研究似乎已經(jīng)到達了一個瓶頸期。因此,在TCO復合膜中加入Zr-Cu、Al-Ag籽層,使TCO復合膜金屬層減薄,從而提升整個膜系光電性能,這一方法為改善TCO復合膜的性能開辟了一個新的思路,逐漸成為目前本領域的研究熱點。本文使用磁控濺射方式在玻璃襯底上分別制備了AZO/Cu/AZO、AZO/Zr-Cu/Cu/AZO、AZO/Ag/AZO、AZO/Zr-Cu/Ag/AZO和AZO/Al-Ag/Ag/AZO透明導電復合膜。用四探針電阻率測量儀、可見分光光度計、原子力顯微鏡及掃描電子顯微鏡對試樣的方阻值、可見光透過率、表面粗糙度和形貌進行了檢測表征。同時探究了膜層厚度厚度、濺射電流、試片部位、濺射靶位置對上... 

【文章來源】：山東建筑大學山東省

【文章頁數(shù)】：64 頁

【學位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
ABSTRACT
第1章 緒論
    1.1 透明導電膜的發(fā)展及分類
    1.2 ZnO基透明導電薄膜
    1.3 TiO_2基透明導電薄膜
    1.4 D/M/D結(jié)構(gòu)透明導電薄膜
    1.5 Ag基復合膜的特點
    1.6 透明導電膜的應用
    1.7 透明導電膜的制備方法
        1.7.1 真空蒸發(fā)鍍膜
        1.7.2 濺射鍍膜
        1.7.3 化學氣相沉積
        1.7.4 溶膠-凝膠法
        1.7.5 噴涂熱分解法
        1.7.6 脈沖激光沉積
    1.8 非晶合金薄膜的形成
    1.9 課題研究意義及主要內(nèi)容
第2章 實驗及表征方法
    2.1 實驗材料與設備
        2.1.1 實驗材料
        2.1.2 實驗設備
    2.2 實驗流程
        2.2.1 基片的處理
        2.2.2 真空室的準備
        2.2.3 抽真空過程
        2.2.4 預濺射過程
        2.2.5 濺射鍍膜過程
        2.2.6 取件過程
        2.2.7 低真空保護過程
    2.3 性能檢測
        2.3.1 薄膜透過率
        2.3.2 薄膜方阻
        2.3.3 薄膜表面形貌
        2.3.4 薄膜的表面粗糙度
第3章 復合膜的光學計算
第4章 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO光學和電學性能研究
    4.1 Zr-Cu厚度對AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復合膜光學特性的影響
    4.2 Cu膜厚度對AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復合膜光學特性的影響
    4.3 Zr-Cu 濺射電流大小對 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 復合膜光學特性的影響
    4.4 AZO 厚度對 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO 復合膜光學特性的影響
    4.5 試片部位對AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復合膜光學特性的影響
    4.6 濺射靶位置對AZO/Zr-Cu/Cu/AZO復合膜光學特性的影響
    4.7 AZO/Zr-Cu/Cu/AZO薄膜的表征
    4.8 本章小結(jié)
第5章 AZO/Zr-Cu/Ag/AZO光學和電學性能研究
    5.1 Zr-Cu厚度對AZO/Zr-Cu/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    5.2 AZO厚度對AZO/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    5.3 Ag厚度對AZO/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    5.4 Ag厚度對AZO/Zr-Cu/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    5.5 試片部位對AZO/Zr-Cu/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    5.6 本章小結(jié)
第6章 AZO/Al-Ag/Ag/AZO光學和電學性能研究
    6.1 Al厚度對AZO/Al-Ag/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    6.2 AZO厚度對AZO/Al-Ag/Ag/AZO復合膜光電特性的影響
    6.3 本章小結(jié)
第7章 總結(jié)與展望
    7.1 本文總結(jié)
    7.2 展望
參考文獻
致謝
攻讀碩士學位期間論文發(fā)表及科研情況



本文編號：3304777