為保證測(cè)量系統(tǒng)的長(zhǎng)期穩(wěn)定性和復(fù)現(xiàn)性,真空計(jì)量將使用氣體密度來表征.利用法布里-珀羅腔可實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體折射率的精密測(cè)量、并反演得出氣體密度.這種基于光學(xué)方法的真空計(jì)量方法是將氣體宏觀介電常數(shù)與原子微觀極化參數(shù)聯(lián)系在一起,由量子標(biāo)準(zhǔn)取代目前基于水銀壓力計(jì)的實(shí)物標(biāo)準(zhǔn).本文討論了氣體折射率至氣體壓力的反演過程,并采用激光鎖定法布里-珀羅腔的方法測(cè)定稀薄氬氣的折射率,討論了相關(guān)參數(shù)對(duì)所測(cè)得氣體壓力不確定度的貢獻(xiàn).在1個(gè)大氣壓范圍內(nèi),對(duì)氬氣壓力測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)不確定度為u=■ 

【文章來源】：物理學(xué)報(bào). 2020,69(15)北大核心EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
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本文編號(hào)：3285841