為保證測量系統(tǒng)的長期穩(wěn)定性和復現(xiàn)性,真空計量將使用氣體密度來表征.利用法布里-珀羅腔可實現(xiàn)對氣體折射率的精密測量、并反演得出氣體密度.這種基于光學方法的真空計量方法是將氣體宏觀介電常數(shù)與原子微觀極化參數(shù)聯(lián)系在一起,由量子標準取代目前基于水銀壓力計的實物標準.本文討論了氣體折射率至氣體壓力的反演過程,并采用激光鎖定法布里-珀羅腔的方法測定稀薄氬氣的折射率,討論了相關參數(shù)對所測得氣體壓力不確定度的貢獻.在1個大氣壓范圍內(nèi),對氬氣壓力測量的標準不確定度為u=■ 

【文章來源】：物理學報. 2020,69(15)北大核心EISCICSCD

【文章頁數(shù)】：7 頁

【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3285841