以陰極電弧離子鍍技術(shù)為依托,以絕緣氧化物薄膜的制備工藝研究為目的,試驗利用脈沖磁復合磁場技術(shù),對氧化物薄膜制備工藝過程進行研究。結(jié)果表明:采用陰極電弧離子鍍技術(shù)可以實現(xiàn)多種絕緣氧化物薄膜的制備;陰極電弧氧化物涂層過程中薄膜具有外延生長的特征,AlTiN有利于促進氧化物薄膜的快速生長,α-Cr₂O₃的結(jié)晶結(jié)構(gòu)和晶格參數(shù)與α-Al₂O₃相近,可促進α-Al₂O₃的生成;AlTiO的沉積速率1.2～1.875μm/h·CAE,ZrO₂沉積速率1.833μm/h·CAE;可以實現(xiàn)柱狀晶ZrO₂薄膜及多元氧化物薄膜的制備,氧化物薄膜隔熱功能效果顯著,可對熱端零部件形成有效的溫度保護,AlCrO/ZrO₂高溫相結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性較好;在高溫條件下,亞穩(wěn)態(tài)Al₂O₃薄膜體系存在向α穩(wěn)定相轉(zhuǎn)換的趨勢;AlTiO薄膜具有優(yōu)異的化學穩(wěn)定性及抗粘結(jié)性能;CAE脈沖磁復合磁場技術(shù)... 

【文章來源】：工具技術(shù). 2020,54(10)

【文章頁數(shù)】：7 頁

【文章目錄】：
1 引言
2 金屬氧化物薄膜的制備方法
    (1)材料轉(zhuǎn)移型
    (2)擴散反應型
    (3)反應生成型
3 氧化鋁薄膜的制備
    (1)濺射技術(shù)
    (2)陰極電弧技術(shù)
4 試驗與研究
5 結(jié)果與分析
    5.1 氧化物薄膜組織結(jié)構(gòu)及沉積速率
    5.2 氧化物薄膜力學性能
    5.3 氧化物薄膜成分構(gòu)成
6 應用與研究
    (1)高溫的影響
    (2)高溫隔熱試驗
    (3)耐磨試驗
7 結(jié)語


【參考文獻】：
期刊論文
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本文編號：3179572