弛豫鐵電材料因具有良好的鐵電、壓電、介電、熱釋電等性能,有望在集成鐵電學(xué)、微電子學(xué)和微電子機械系統(tǒng)等領(lǐng)域中獲得應(yīng)用,因而成為國內(nèi)外研究的熱點材料。并且,薄膜相對塊體具有響應(yīng)更快、靈敏度更高、更好的與硅基集成等優(yōu)勢,因此,為了促進弛豫鐵電薄膜的潛在應(yīng)用,有必要對其進行深入的研究,進一步優(yōu)化薄膜結(jié)構(gòu),提高薄膜性能。在本課題組前期工作基礎(chǔ)上,本論文采用脈沖激光沉積方法開展弛豫鐵電薄膜制備研究,主要研究內(nèi)容如下:1.采用脈沖激光沉積方法（PLD）制備了（100）取向的外延弛豫鐵電體0.7Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃-0.3PbTiO₃（PMN-0.3PT）薄膜,研究了沉積溫度和濺射氧壓對薄膜的結(jié)構(gòu)與電性能的影響規(guī)律。首先采用PLD技術(shù)在SrTiO₃單晶襯底上、SrRuO₃電極上制備了具有純鈣鈦礦結(jié)構(gòu)的（100）取向的PMN-0.3PT外延弛豫鐵電薄膜,研究了相和疇結(jié)構(gòu),鐵電和壓電性能以及漏電流特性,獲得了良好的飽和電滯回線,結(jié)果表明,剩余極化強度高達30μC/... 

【文章來源】：上海師范大學(xué)上海市

【文章頁數(shù)】：59 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【文章目錄】：
摘要
Abstract
第1章 緒論
    1.1 引言
    1.2 壓電/鐵電材料概述
        1.2.1 壓電材料
        1.2.2 鐵電材料
    1.3 弛豫鐵電材料概述
    1.4 弛豫鐵電薄膜的近期研究進展
    1.5 本論文的提出與研究內(nèi)容
        1.5.1 問題的提出
        1.5.2 研究內(nèi)容
第2章 實驗內(nèi)容與實驗方法
    2.1 實驗內(nèi)容
    2.2 陶瓷靶的制備
        2.2.1 實驗儀器與主要原料
        2.2.2 工藝流程
    2.3 薄膜的脈沖激光沉積制備
        2.3.1 主要實驗儀器
        2.3.2 工藝流程
    2.4 薄膜結(jié)構(gòu)表征與電性能分析
        2.4.1 結(jié)構(gòu)表征
        2.4.2 電性能表征
    2.5 本章小結(jié)
第3章 0.7Pb(Mg_(1/3)Nb_(2/3))O_3-0.3PbTiO_3 外延鐵電薄膜的制備及電性能研究
    3.1 引言
    3.2 PMNT/SRO/STO外延薄膜的制備及性能研究
    3.3 本章小結(jié)
第4章 Mn摻雜Bi_(0.5)Na_(0.5)TiO_3-Ba TiO_3 無鉛鐵電薄膜的制備及性能調(diào)控研究
    4.1 引言
    4.2 Mn-BNBT/Pt/Ti/SiO_2/Si薄膜的制備與電性能研究
    4.3 Mn-BNBT/LSCO/Pt/Ti/SiO_2/Si薄膜的制備與電性能研究
        4.3.1 LSCO/Pt/Ti/SiO_2/Si緩沖層的制備研究
        4.3.2 Mn-BNBT/LSCO/Pt/Ti/SiO_2/Si薄膜的制備及電性能研究
    4.4 本章小結(jié)
第5章 總結(jié)與展望
    5.1 總結(jié)
    5.2 展望
參考文獻
攻讀碩士學(xué)位期間所獲得的成果
致謝



本文編號：3179227