基于有限元法,對(duì)濺射離子泵抽氣單元內(nèi)氣體放電及離子輸運(yùn)過程進(jìn)行了研究.采用商業(yè)軟件COM SOL M ultiphysics將等離子體模塊、磁場(chǎng)模塊、帶電粒子追蹤模塊進(jìn)行耦合,計(jì)算得到陽極筒內(nèi)電子密度的分布規(guī)律.研究了氣體壓強(qiáng)、陽極電壓、磁場(chǎng)強(qiáng)度等參數(shù)對(duì)電子密度的影響,追蹤了離子在不同壓強(qiáng)下的運(yùn)動(dòng)軌跡,得到了離子對(duì)陰極板的入射角度和沖擊能量.將仿真結(jié)果代入到理論抽速計(jì)算公式中,所得結(jié)果與實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行對(duì)比,兩者具有很好的一致性,驗(yàn)證了仿真模型的準(zhǔn)確性.對(duì)離子泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和性能優(yōu)化提供了一種適用方法. 

【文章來源】：東北大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版). 2020,41(07)北大核心EICSCD

【文章頁數(shù)】：6 頁

【文章目錄】：
1 濺射離子泵抽氣原理
2 數(shù)值模型
    2.1 控制方程
    2.2 幾何結(jié)構(gòu)及網(wǎng)格化
    2.3 參數(shù)設(shè)置
3 結(jié)果與討論
    3.1 壓強(qiáng)對(duì)電子密度的影響
    3.2 陽極電壓和磁場(chǎng)強(qiáng)度對(duì)電子密度的影響
    3.3 壓強(qiáng)對(duì)離子輸運(yùn)的影響
    3.4 理論與實(shí)驗(yàn)抽速結(jié)果分析
4 結(jié)論


【參考文獻(xiàn)】：
期刊論文
[1]低氣壓條件下氫氣潘寧放電的模擬分析[J]. 石磊,錢沐楊,肖坤祥,黎明.  物理學(xué)報(bào). 2013(17)
[2]反應(yīng)磁控濺射離子鍍TiN膜的工藝參數(shù)[J]. 楊樹貴,周卓.  東北工學(xué)院學(xué)報(bào). 1987(03)
[3]濺射離子泵的抽速計(jì)算[J]. 何煒,王仁康,耿天鵬,胡國華.  真空科學(xué)與技術(shù). 1982(04)



本文編號(hào)：3154347